Structural and Electrical Properties of Polysilicon Films Prepared by AIC Process for a Polycrystalline Silicon Solar Cell Seed Layer
المؤلفون المشاركون
المصدر
International Journal of Photoenergy
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-03-18
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Polycrystalline silicon (pc-Si) films are produced by aluminum-induced crystallization (AIC) process for a polycrystalline silicon solar cell seed layer, and the structural and electrical properties of the films are analyzed.
The used structure is glass/Al/ Al2O3/a-Si, and the thickness of Al2O3 layer was varied from 2 nm to 20 nm to investigate the influence of the Al2O3 layer thickness on the formation of the polycrystalline silicon.
The annealing temperature and annealing time were fixed to 400∘C and 5 hours, respectively, for the AIC process conditions.
As a result, it is observed that the average grain size of the pc-Si films is rapidly smaller with increasing the thickness of Al2O3 layer, whereas the film quality, as defects and Hall mobility, was gradually degraded with only small difference.
We obtained the maximum average grain size of 15 μm for the pc-Si film with the thickness of Al2O3 layer of 4 nm.
The best resistivity and the Hall mobility was 6.1×10−2 Ω·cm and 90.91 cm2/Vs, respectively, in the case of 8 nm thick Al oxide layer.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Jeong, Hyejeong& Boo, Seongjae. 2012. Structural and Electrical Properties of Polysilicon Films Prepared by AIC Process for a Polycrystalline Silicon Solar Cell Seed Layer. International Journal of Photoenergy،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-483525
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Jeong, Hyejeong& Boo, Seongjae. Structural and Electrical Properties of Polysilicon Films Prepared by AIC Process for a Polycrystalline Silicon Solar Cell Seed Layer. International Journal of Photoenergy No. 2012 (2012), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-483525
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Jeong, Hyejeong& Boo, Seongjae. Structural and Electrical Properties of Polysilicon Films Prepared by AIC Process for a Polycrystalline Silicon Solar Cell Seed Layer. International Journal of Photoenergy. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-483525
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-483525
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر