Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering
المؤلفون المشاركون
Patthanasettakul, V.
Horprathum, M.
Nuntawong, N.
Eiamchai, P.
Limsuwan, P.
Chindaudom, P.
Limnonthakul, P.
Pokaipisit, A.
المصدر
العدد
المجلد 2010، العدد 2010 (31 ديسمبر/كانون الأول 2010)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2010-08-17
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الكيمياء
هندسة مدنية
الملخص EN
TiO2 thin films were deposited on unheated silicon wafers (100) and glass slides by a pulsed DC reactive magnetron sputtering in an ultrahigh vacuum (UHV) system.
The effects of both an operating pressure and deposition time on film structure, surface morphology, and optical property were studied.
The film structure and microstructure were characterized by grazing-incidence X-ray diffraction (GIXRD) technique and transmission electron microscopy (TEM).
The surface morphology was investigated by field emission scanning electron microscopy (FE-SEM).
The optical property of the TiO2 thin films was determined by spectroscopic ellipsometry (SE).
The water contact angle measurement was also used to determine hydrophilicity of the films after exposed to UV light.
The results suggested that the TiO2 thin film at less than 40 nm was amorphous.
As the thickness was increased, the mixture of anatase and rutile phases of TiO2 began to form.
By reducing the operating pressure during the film deposition, the rutile phase component can also be enhanced.
Both the increased film thickness and decrease operating pressure were the critical factors to improve the hydrophilicity of the TiO2 thin films.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Horprathum, M.& Chindaudom, P.& Limnonthakul, P.& Eiamchai, P.& Nuntawong, N.& Patthanasettakul, V.…[et al.]. 2010. Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials،Vol. 2010, no. 2010, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-502518
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Horprathum, M.…[et al.]. Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials No. 2010 (2010), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-502518
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Horprathum, M.& Chindaudom, P.& Limnonthakul, P.& Eiamchai, P.& Nuntawong, N.& Patthanasettakul, V.…[et al.]. Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials. 2010. Vol. 2010, no. 2010, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-502518
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-502518
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر