![](/images/graphics-bg.png)
Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications
المؤلفون المشاركون
Debray-Mechtaly, W.
Fuentes-Fernandez, E. M. A.
Shah, P.
Gnade, B.
Alshareef, H. N.
Quevedo-López, M. A.
Leon-Salguero, E.
المصدر
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-04-18
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
A complete analysis of the morphology, crystallographic orientation, and resulting electrical properties of Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3− Pb(Nb1/3, Zn2/3)O3 (PZT-PZN) thin films, as well as the electrical behavior when integrated in a cantilever for energy harvesting applications, is presented.
The PZT-PZN films were deposited using sol-gel methods.
We report that using 20% excess Pb, a nucleation layer of PbTiO3 (PT), and a fast ramp rate provides large grains, as well as denser films.
The PZT-PZN is deposited on a stack of TiO2/PECVD SiO2/Si3N4/thermal SiO2/Poly-Si/Si.
This stack is designed to allow wet-etching the poly-Si layer to release the cantilever structures.
It was also found that the introduction of the poly-Si layer results in larger grains in the PZT-PZN film.
PZT-PZN films with a dielectric constant of 3200 and maximum polarization of 30 μC/cm2 were obtained.
The fabricated cantilever devices produced ∼300–400 mV peak-to-peak depending on the cantilever design.
Experimental results are compared with simulations.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Fuentes-Fernandez, E. M. A.& Debray-Mechtaly, W.& Quevedo-López, M. A.& Gnade, B.& Leon-Salguero, E.& Shah, P.…[et al.]. 2012. Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications. Smart Materials Research،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505110
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Fuentes-Fernandez, E. M. A.…[et al.]. Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications. Smart Materials Research No. 2012 (2012), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505110
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Fuentes-Fernandez, E. M. A.& Debray-Mechtaly, W.& Quevedo-López, M. A.& Gnade, B.& Leon-Salguero, E.& Shah, P.…[et al.]. Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications. Smart Materials Research. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505110
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-505110
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)