Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications
المؤلفون المشاركون
Debray-Mechtaly, W.
Fuentes-Fernandez, E. M. A.
Shah, P.
Gnade, B.
Alshareef, H. N.
Quevedo-López, M. A.
Leon-Salguero, E.
المصدر
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-04-18
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
A complete analysis of the morphology, crystallographic orientation, and resulting electrical properties of Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3− Pb(Nb1/3, Zn2/3)O3 (PZT-PZN) thin films, as well as the electrical behavior when integrated in a cantilever for energy harvesting applications, is presented.
The PZT-PZN films were deposited using sol-gel methods.
We report that using 20% excess Pb, a nucleation layer of PbTiO3 (PT), and a fast ramp rate provides large grains, as well as denser films.
The PZT-PZN is deposited on a stack of TiO2/PECVD SiO2/Si3N4/thermal SiO2/Poly-Si/Si.
This stack is designed to allow wet-etching the poly-Si layer to release the cantilever structures.
It was also found that the introduction of the poly-Si layer results in larger grains in the PZT-PZN film.
PZT-PZN films with a dielectric constant of 3200 and maximum polarization of 30 μC/cm2 were obtained.
The fabricated cantilever devices produced ∼300–400 mV peak-to-peak depending on the cantilever design.
Experimental results are compared with simulations.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Fuentes-Fernandez, E. M. A.& Debray-Mechtaly, W.& Quevedo-López, M. A.& Gnade, B.& Leon-Salguero, E.& Shah, P.…[et al.]. 2012. Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications. Smart Materials Research،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505110
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Fuentes-Fernandez, E. M. A.…[et al.]. Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications. Smart Materials Research No. 2012 (2012), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505110
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Fuentes-Fernandez, E. M. A.& Debray-Mechtaly, W.& Quevedo-López, M. A.& Gnade, B.& Leon-Salguero, E.& Shah, P.…[et al.]. Synthesis and Characterization of Pb(Zr0.53, Ti0.47)O3-Pb(Nb13, Zn23)O3 Thin Film Cantilevers for Energy Harvesting Applications. Smart Materials Research. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505110
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-505110
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر