![](/images/graphics-bg.png)
Modeling the Boron-Doping Silicon Beam by a Multilayer Model
المؤلفون المشاركون
Yu, Huijun
Zhou, Wu
Zeng, Zhi
He, Xiaoping
Hao, Xiaohong
Peng, Bei
المصدر
Mathematical Problems in Engineering
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-02-27
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The boron-doping silicon beam commonly used in microdevices exhibits a nonuniform material property along its thickness or width because of the gradient of boron concentration induced by diffusion process.
The constant of rigidity, one of the most important parameters of microbeam, needs to be accurately calculated and designed in the development of high precise sensors and actuators.
Current design methods, mainly depending on the analytical solutions derived under the assumption of a uniform material property or some commercial software for a varied property, are not adequate and time consuming to calculate the constant of rigidity of boron-doping silicon beam.
A multilayer model is proposed in this paper to replace the continuous solid model by dividing the beam into separated layers glued together.
The finite element lamination method is utilized to acquire the equivalent Young modulus and moment of inertia of cross section of multilayer model.
The equivalent values are calculated from double-layer structures to multilayer ones based on the small deformation theory and the material mechanics theory.
The proposed method provides an effective method to design the stiffness or frequency of microdevice and its results are validated by COMSOL simulation.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yu, Huijun& Zhou, Wu& Peng, Bei& He, Xiaoping& Hao, Xiaohong& Zeng, Zhi. 2014. Modeling the Boron-Doping Silicon Beam by a Multilayer Model. Mathematical Problems in Engineering،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-506097
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yu, Huijun…[et al.]. Modeling the Boron-Doping Silicon Beam by a Multilayer Model. Mathematical Problems in Engineering No. 2014 (2014), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-506097
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yu, Huijun& Zhou, Wu& Peng, Bei& He, Xiaoping& Hao, Xiaohong& Zeng, Zhi. Modeling the Boron-Doping Silicon Beam by a Multilayer Model. Mathematical Problems in Engineering. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-506097
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-506097
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)