![](/images/graphics-bg.png)
Processing Chip for Thin Film Bulk Acoustic Resonator Mass Sensor
المؤلفون المشاركون
Wu, Mengjun
Jin, Hao
Jin, Pengcheng
Dong, Shurong
المصدر
Journal of Control Science and Engineering
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-11-04
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
هندسة كهربائية
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Aimed at portable application, a new integrated process chip for thin film bulk acoustic resonator (FBAR) mass sensor is proposed and verified with 0.18 um CMOS processing in this paper.
The longitudinal mode FBAR with back-etched structure is fabricated, which has resonant frequency 1.878 GHz and Q factor 1200.
The FBAR oscillator, based on the current-reuse structure, is designed with Modified Butterworth Van Dyke (MBVD) model.
The result shows that the FBAR oscillator operates at 1.878 GHz with a phase noise of −107 dBc/Hz and −135 dBc/Hz at 10 KHz and 100 KHz frequency offset, respectively.
The whole process chip size with pads is 1300 μm × 950 μm.
The FBAR and process chip are bonded together to sense tiny mass.
The measurement results show that this chip precision is 1 KHz with the FBAR frequency gap from 25 kHz to 25 MHz.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Jin, Pengcheng& Dong, Shurong& Jin, Hao& Wu, Mengjun. 2012. Processing Chip for Thin Film Bulk Acoustic Resonator Mass Sensor. Journal of Control Science and Engineering،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-508418
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Jin, Pengcheng…[et al.]. Processing Chip for Thin Film Bulk Acoustic Resonator Mass Sensor. Journal of Control Science and Engineering No. 2012 (2012), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-508418
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Jin, Pengcheng& Dong, Shurong& Jin, Hao& Wu, Mengjun. Processing Chip for Thin Film Bulk Acoustic Resonator Mass Sensor. Journal of Control Science and Engineering. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-508418
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-508418
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)