Exploration of the Direct Use of Anodized Alumina as a Mold for Nanoimprint Lithography to Fabricate Magnetic Nanostructure over Large Area
المؤلفون المشاركون
Wang, Hao
Wang, Jian-Ping
Rahman, M. Tofizur
المصدر
العدد
المجلد 2011، العدد 2011 (31 ديسمبر/كانون الأول 2011)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-11-01
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الكيمياء
الملخص EN
We have explored the direct use of anodized alumina (AAO) fabricated on an Si wafer as a mold for the nanoimprint lithography (NIL).
The AAO mold has been fabricated over more than 10 cm2 area with two different pore diameters of 163±24 nm and 73±7 nm.
One of the key challenges of the lack of bonding between the antisticking self-assembled monolayer (SAM) and the AAO has been overcome by modifying the surface chemistry of the fabricated AAO mold by coating it with thin SiO2 layer.
Then we have applied the commonly used silane-based self-assembled monolayer (SAM) on these SiO2-coated AAO molds and achieved successful imprinting of resist pillars with feature size of 172±25 nm by using the mold with a pore diameter of 163±24 nm.
Finally, we have achieved (001) oriented L10 FePt patterned structure with a dot diameter of 42±4 nm by using a AAO mold with a pore diameter of 73±7 nm.
The perpendicular Hc of the unpatterned and patterned FePt is about 3.3 kOe and 12 kOe, respectively.
These results indicate that AAO mold can potentially be used in NIL for fabricating patterned nanostructures over large area.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Rahman, M. Tofizur& Wang, Hao& Wang, Jian-Ping. 2011. Exploration of the Direct Use of Anodized Alumina as a Mold for Nanoimprint Lithography to Fabricate Magnetic Nanostructure over Large Area. Journal of Nanotechnology،Vol. 2011, no. 2011, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-511700
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Rahman, M. Tofizur…[et al.]. Exploration of the Direct Use of Anodized Alumina as a Mold for Nanoimprint Lithography to Fabricate Magnetic Nanostructure over Large Area. Journal of Nanotechnology No. 2011 (2011), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-511700
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Rahman, M. Tofizur& Wang, Hao& Wang, Jian-Ping. Exploration of the Direct Use of Anodized Alumina as a Mold for Nanoimprint Lithography to Fabricate Magnetic Nanostructure over Large Area. Journal of Nanotechnology. 2011. Vol. 2011, no. 2011, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-511700
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-511700
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر