Diagnostics of low-pressure capacitively coupled RF discharge argon plasma
العناوين الأخرى
تشخيص التفريغ الكهربائي عند الضغط الواطئ لمنظومة الاقتران السعوي ذو الترددات الراديوية لبلازما الاركون
المؤلفون المشاركون
Husayn, Ali Abd al-Karim
Yasin, Walid Ibrahim
Adim, Kazim Abd al-Wahid
المصدر
العدد
المجلد 13، العدد 27 (31 أغسطس/آب 2015)، ص ص. 76-82، 7ص.
الناشر
تاريخ النشر
2015-08-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Low-pressure capacitively coupled RF discharge Ar plasma has been studied using Langmuir probe.
The electron temperature, electron density and Debay length were calculated under different pressures and electrode gap.
In this work the RF Langmuir probe is designed using 4MHz filter as compensation circuit and I-V probe characteristic have been investigated.
The pressure varied from 0.07 mbar to 0.1 mbar while electrode gap varied from 2-5 cm.
The plasma was generated using power supply at 4MHz frequency with power 300 W.
The flowmeter is used to control Argon gas flow in the range of 600 standard cubic centimeters per minute (sccm).
The electron temperature drops slowly with pressure and it's gradually decreased when expanding the electrode gap.
As the gas pressure increases, the plasma density rises slightly at low gas pressure while it drops little at higher gas pressure.
The electron density decreases rapidly with expand distances between electrodes.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Husayn, Ali Abd al-Karim& Adim, Kazim Abd al-Wahid& Yasin, Walid Ibrahim. 2015. Diagnostics of low-pressure capacitively coupled RF discharge argon plasma. Iraqi Journal of Physics،Vol. 13, no. 27, pp.76-82.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-721415
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Husayn, Ali Abd al-Karim…[et al.]. Diagnostics of low-pressure capacitively coupled RF discharge argon plasma. Iraqi Journal of Physics Vol. 13, no. 27 (2015), pp.76-82.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-721415
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Husayn, Ali Abd al-Karim& Adim, Kazim Abd al-Wahid& Yasin, Walid Ibrahim. Diagnostics of low-pressure capacitively coupled RF discharge argon plasma. Iraqi Journal of Physics. 2015. Vol. 13, no. 27, pp.76-82.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-721415
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 82
رقم السجل
BIM-721415
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر