Control the deposition uniformity using ring cathode by DC discharge technique
العناوين الأخرى
التحكم بانتظام الترسيب باستخدام كاثود حلقي في تقنية التفريغ الكهربائي للتيار المستمر
المؤلفون المشاركون
Salman, Muhammad Awdah
Adim, Kazim Abd al-Wahid
المصدر
العدد
المجلد 15، العدد 32 (30 إبريل/نيسان 2017)، ص ص. 57-67، 11ص.
الناشر
تاريخ النشر
2017-04-30
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
11
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Simulation of direct current (DC) discharge plasma using COMSOL Multiphysics software were used to study the uniformity of deposition on anode from DC discharge sputtering using ring and disc cathodes, then applied it experimentally to make comparison between film thickness distribution with simulation results.
Both simulation and experimental results shows that the deposition using copper ring cathode is more uniformity than disc cathode.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Adim, Kazim Abd al-Wahid& Salman, Muhammad Awdah. 2017. Control the deposition uniformity using ring cathode by DC discharge technique. Iraqi Journal of Physics،Vol. 15, no. 32, pp.57-67.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-732072
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Adim, Kazim Abd al-Wahid& Salman, Muhammad Awdah. Control the deposition uniformity using ring cathode by DC discharge technique. Iraqi Journal of Physics Vol. 15, no. 32 (2017), pp.57-67.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-732072
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Adim, Kazim Abd al-Wahid& Salman, Muhammad Awdah. Control the deposition uniformity using ring cathode by DC discharge technique. Iraqi Journal of Physics. 2017. Vol. 15, no. 32, pp.57-67.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-732072
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 67
رقم السجل
BIM-732072
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر