![](/images/graphics-bg.png)
The sputtering of target by charged particles and energy spectra of sputtered atoms
العناوين الأخرى
الرش المهبطي في المادة الهدف بواسطة الجسيمات المشحونة و طيف الطاقة لذرات الرش المهبطي
المؤلفون المشاركون
Mutashir, Sahir Mizhir
Kazim, Sana Thamir
المصدر
العدد
المجلد 11، العدد 2 (30 يونيو/حزيران 2016)، ص ص. 78-98، 21ص.
الناشر
جامعة ذي قار قسم البحث و التطوير
تاريخ النشر
2016-06-30
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
21
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص EN
In this paper, we introduce a study of understanding the physical sputtering of target by energetic ions bombardment as a result from cascades of linear collisions.
There are two stages of collision cascade: high energy collisions which Thomas – Fermi cross section is applied and low energy collisions that Born – Mayer cross section is characterized.
The sputtering may be divided into two parts sputtering potential and sputtering yield.
In this paper, we emphasize on sputtering yield which is evaluated under the slowing down of energetic ions in a medium.
The resulted yield equation is extended from Boltzmann transport equation.
The resulted sputtering yield of Ag, Cu and Pd targets has been measured with different incident ions.
There is a variation in the yield with projectile atomic number and a deviation in the maximum of energy is found for both heavy and light projectiles.
Also, we also study a formula proposed by Thompson to describe the energy spectrum of atoms sputtered from a target material irradiated by heavy ions and this formula may be expressed in terms of a normalized energy distribution function.
A program in matlab is written in order to program the equations and obtain the results.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Kazim, Sana Thamir& Mutashir, Sahir Mizhir. 2016. The sputtering of target by charged particles and energy spectra of sputtered atoms. University of Thi-Qar Journal،Vol. 11, no. 2, pp.78-98.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-779468
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Kazim, Sana Thamir& Mutashir, Sahir Mizhir. The sputtering of target by charged particles and energy spectra of sputtered atoms. University of Thi-Qar Journal Vol. 11, no. 2 (Jun. 2016), pp.78-98.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-779468
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Kazim, Sana Thamir& Mutashir, Sahir Mizhir. The sputtering of target by charged particles and energy spectra of sputtered atoms. University of Thi-Qar Journal. 2016. Vol. 11, no. 2, pp.78-98.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-779468
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 95-97
رقم السجل
BIM-779468
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)