![](/images/graphics-bg.png)
Effects of discharge current and target thickness in Dc-magnetron sputtering on grain size of copper deposited samples
العناوين الأخرى
تأثير تيار التفريغ وسمك الهدف في الترذيذ المغناطيسي المستمر على حجم حبيبات النحاس في النماذج المرسبة
المؤلفون المشاركون
Rashid, Ban Faysal
Yahya, Khalid Abbas
المصدر
العدد
المجلد 16، العدد 1 (31 مارس/آذار 2019)، ص ص. 84-87، 4ص.
الناشر
جامعة بغداد كلية العلوم للبنات
تاريخ النشر
2019-03-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص EN
A study of the effects of the discharge (sputtering) currents (60-75 ma) and the thickness of copper target (0.037, 0.055 and 0.085 mm) on the prepared samples was performed.
these samples were deposited with pure copper on a glass substrate using dc magnetron sputtering with a magnetic flux density of 150 gauss at the center.
the effects of these two parameters were studied on the height, diameter, and size of the deposition copper grains as well as the roughness of surface samples using atomic force microscopy (afm).the results of this study showed that it is possible to control the specifications of copper grains by changing the discharge currents and the thickness of the target material.
the increase in discharge current values led to a decrease in height copper grain's values of 20% at a current of 75 ma and target thickness of 0.085 mm.
furthermore, the increasing in the current caused a decrease in the diameter and size values of deposition copper grains.
finally, the surface roughness of the samples was reduced by a 15% by changing the current and target material thickness at 75 ma and 0.085mm respectively.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yahya, Khalid Abbas& Rashid, Ban Faysal. 2019. Effects of discharge current and target thickness in Dc-magnetron sputtering on grain size of copper deposited samples. Baghdad Science Journal،Vol. 16, no. 1, pp.84-87.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-876200
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yahya, Khalid Abbas& Rashid, Ban Faysal. Effects of discharge current and target thickness in Dc-magnetron sputtering on grain size of copper deposited samples. Baghdad Science Journal Vol. 16, no. 1 (2019), pp.84-87.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-876200
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yahya, Khalid Abbas& Rashid, Ban Faysal. Effects of discharge current and target thickness in Dc-magnetron sputtering on grain size of copper deposited samples. Baghdad Science Journal. 2019. Vol. 16, no. 1, pp.84-87.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-876200
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 87
رقم السجل
BIM-876200
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)