Analysis of electron transport coefficients in SiH4 gas using boltzmann equation in the presence of applied electric field
المؤلفون المشاركون
Uthman, Muhammad M.
Taha, Shirzad A.
Idris H.
المصدر
ZANCO Journal of Pure and Applied Sciences
العدد
المجلد 31، العدد 1 (28 فبراير/شباط 2019)، ص ص. 77-88، 12ص.
الناشر
جامعة صلاح الدين قسم النشر العلمي
تاريخ النشر
2019-02-28
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
12
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Monosilane (SiH4) plasma has numerous applications in plasma processing, transport coefficients are better to understanding and modeling of these gas discharge processes.
The electron swarms in a monosilane gas under influence of uniform electric field can be calculated using two term approximation of Boltzmann equation for the range 1 ≤ E / N ≤ 1000 Td (1 Td = 1 x 10-17 V.cm2).
The effective ionization coefficient's (α-η) / N and electron swarm parameters are calculated and compared with experimental and theoretical values of drift velocity, characteristic energy, mean electron energy and ionization coefficient.
The critical field strength (E / N)cr.is calculated from the effective ionization curves.
A set of electron molecule collisions has been assembled for monsilane gas which gave a good fit between the calculated and experimental values over the range of E / N investigated.
The calculated distribution functions (EEDF) are found to be non-Maxwellian, having energy variations which reflect the important electron / molecule energy exchange processes.
In addition, the percentages of energy lost by different types of elastic and inelastic collisions are given as a function of electric field strength E/N.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Uthman, Muhammad M.& Taha, Shirzad A.& Idris H.. 2019. Analysis of electron transport coefficients in SiH4 gas using boltzmann equation in the presence of applied electric field. ZANCO Journal of Pure and Applied Sciences،Vol. 31, no. 1, pp.77-88.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-894332
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Uthman, Muhammad M.…[et al.]. Analysis of electron transport coefficients in SiH4 gas using boltzmann equation in the presence of applied electric field. ZANCO Journal of Pure and Applied Sciences Vol. 31, no. 1 (2019), pp.77-88.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-894332
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Uthman, Muhammad M.& Taha, Shirzad A.& Idris H.. Analysis of electron transport coefficients in SiH4 gas using boltzmann equation in the presence of applied electric field. ZANCO Journal of Pure and Applied Sciences. 2019. Vol. 31, no. 1, pp.77-88.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-894332
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 87-88
رقم السجل
BIM-894332
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر