![](/images/graphics-bg.png)
Achieving High Aspect Ratio of Track Length to Width in Molds for Discrete Track Recording Media
المؤلفون المشاركون
Tan, E. L.
Shankaran, C.
Aung, K. O.
Sbiaa, Rashid
Piramanayagam, S. N.
Wong, S. K.
المصدر
العدد
المجلد 2008، العدد 2008 (31 ديسمبر/كانون الأول 2008)، ص ص. 1-4، 4ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2008-02-19
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Discrete track media (DTM) fabricated by nanoimprint lithography (NIL) is considered as a potential technology for future hard disk drives (HDD).
In the fabrication of a master mold for NIL, patterning the resist tracks with a narrow distribution in the width is the first critical step.
This paper reports the challenges involved in the fabrication of high aspect ratio discrete tracks on Polymethylmethacrylate (PMMA) resist by means of electron beam lithography.
It was observed that fabrication parameters applied for successful patterning of discrete tracks in nanoscale length were not directly suitable for the patterning of discrete tracks in micron scale.
Hence different approaches such as thick layer resist coating, introducing of post exposure baking process, and varying of exposure parameters were used in order to achieve uniform sharp discrete tracks in micron scale length on the resist.
The optimal parameters were used to pattern 20 μm long tracks with 70 nm track pitch on the resist.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Aung, K. O.& Shankaran, C.& Sbiaa, Rashid& Tan, E. L.& Wong, S. K.& Piramanayagam, S. N.. 2008. Achieving High Aspect Ratio of Track Length to Width in Molds for Discrete Track Recording Media. Journal of Nanotechnology،Vol. 2008, no. 2008, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-988127
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Aung, K. O.…[et al.]. Achieving High Aspect Ratio of Track Length to Width in Molds for Discrete Track Recording Media. Journal of Nanotechnology No. 2008 (2008), pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-988127
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Aung, K. O.& Shankaran, C.& Sbiaa, Rashid& Tan, E. L.& Wong, S. K.& Piramanayagam, S. N.. Achieving High Aspect Ratio of Track Length to Width in Molds for Discrete Track Recording Media. Journal of Nanotechnology. 2008. Vol. 2008, no. 2008, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-988127
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-988127
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)