Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H
By: Babahani, Oumelkheir; Khalfawi, Fathi. Annales des Sciences et Technologie. Vol. 6, no. 2 (2014), pp.156-164, 9 p.
Subjects: Chemical reactions; Mathematical models