Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H
المؤلفون المشاركون
Babahani, Oumelkheir
Khalfawi, Fathi
المصدر
Annales des Sciences et Technologie
العدد
المجلد 6، العدد 2 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 156-164، 9ص.
الناشر
تاريخ النشر
2014-12-31
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص EN
This work presents a Monte Carlo Simulation (MCS) of chemical reactions that occur in the volume of a PECVD reactor during deposition of a-C:H thin film elaborated from (CH4 / H2) mixture.
Besides CH4 and H2, molecules and radicals taken in account in this study are CH3, CH2, CH, C2H5, C2H6 and H.
The MCS is based on binary collisions.
MCS allowed us to obtain the densities and the molecular fractions of different particles and other parameters related to reaction rates.
The results are in good agreement with other works.
الملخص FRE
Ce travail présente une simulation par la méthode de Monte Carlo (SMC) des réactions chimiques qui se produisent dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C : H élaboré à partir d'un mélange gazeux (CH4 / H2).
En plus de CH4 et H2, les molécules et les radicaux considérés dans l'étude sont CH3, CH2, CH, C2H5, C2H6 et H.
La SMC se base sur les collisions binaires.
La SMC nous a permis d'obtenir les densités et les fractions molaires des particules ainsi que d'autres paramètres liés aux vitesses de réactions.
Les résultats sont en bon accord avec d'autres travaux.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Babahani, Oumelkheir& Khalfawi, Fathi. 2014. Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H. Annales des Sciences et Technologie،Vol. 6, no. 2, pp.156-164.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-541396
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Babahani, Oumelkheir& Khalfawi, Fathi. Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H. Annales des Sciences et Technologie Vol. 6, no. 2 (2014), pp.156-164.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-541396
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Babahani, Oumelkheir& Khalfawi, Fathi. Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H. Annales des Sciences et Technologie. 2014. Vol. 6, no. 2, pp.156-164.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-541396
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الفرنسية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 163-164
رقم السجل
BIM-541396
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
منصة "معرفة" للكتاب العربي الجامعي الرقمي 
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
