Optical method to determine the orientation of monocrystalline silicon wafers
العناوين الأخرى
طريقة بصرية لتحديد الاتجاهية لشرائح السيليكون احادية البلورات
المؤلفون المشاركون
Ali, Abd al-Rahman Khalaf
Abbud, Manal A.
al-Alagawi, Saria D.
المصدر
Engineering and Technology Journal
العدد
المجلد 25، العدد 08 (31 أكتوبر/تشرين الأول 2007)، ص ص. 950-954، 5ص.
الناشر
تاريخ النشر
2007-10-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص AR
في هذا البحث، استخدمت طريقة بصرية لتحديد الاتجاهية البلورية لسطوح سيليكونية منمشة كيماويا باتجاه المستويات (111) و (110) و (100)، تعتمد هذه الطريقة على الأنماط الضوئية التي تكونها حزمة الليزر المنعكسة عن السطوح أحادية التبلور، توفر هذه الطريقة البصرية دقة قياس مقبولة و أنماط متميزة بشكل واضح و الاستغناء عن الفحوصات بالأشعة السينية.
الملخص EN
In this work, an optical method was used for the determination of the crystalline orientation of the chemically etched silicon surfaces in the (111), (110) and (100) planes.
This method depends on the light patterns of laser beam reflected from the monocrystalline surfaces.
The optical method submits acceptable measuring accuracy and well-distinguished folded patterns.-
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
al-Alagawi, Saria D.& Abbud, Manal A.& Ali, Abd al-Rahman Khalaf. 2007. Optical method to determine the orientation of monocrystalline silicon wafers. Engineering and Technology Journal،Vol. 25, no. 08, pp.950-954.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-52420
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Abbud, Manal A.…[et al.]. Optical method to determine the orientation of monocrystalline silicon wafers. Engineering and Technology Journal Vol. 25, no. 08 (2007), pp.950-954.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-52420
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
al-Alagawi, Saria D.& Abbud, Manal A.& Ali, Abd al-Rahman Khalaf. Optical method to determine the orientation of monocrystalline silicon wafers. Engineering and Technology Journal. 2007. Vol. 25, no. 08, pp.950-954.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-52420
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 952
رقم السجل
BIM-52420
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر