Effect of (O2Ar) different mixing ratios in a glow discharge plasma on the structural properties of niobium oxide film
Other Title(s)
تأثير نسب الخلط المختلفة لغازي (O2 Ar) في بلازما التفريغ المتوهج على الخصائص التركيبية لغشاء أوكسيد النيوبيوم
Joint Authors
Hashim, Abd al-Jalil Muhammad
Abd, Hasan Jumah
Atiyyah, Riyad Ibrahim
Source
Iraqi Journal of Science and Technology
Issue
Vol. 10, Issue 3 (31 Dec. 2019), pp.27-32, 6 p.
Publisher
Ministry of science and technology
Publication Date
2019-12-31
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
6
Main Subjects
Topics
Abstract AR
حضرت أغشية أوكسيد النيوبيوم (Nb2O5) على قواعد من الزجاج بأستخدام منظومة بلازما الترذيذ و بنسب مختلفة من خليط لغازي الأوكسجين/الأركون(O2/Ar) ، و تمت عملية التلدين للنماذج بدرجة حرارة (650 °C) لمدة ساعة واحدة، حيث بينت فحوصات حيود الأشعة السينية(XRD) للأغشية في المجموعة-1 و المجموعة-2 و المجموعة-3 عدم ظهور طور أوكسيد النيوبيوم قبل و بعد التلدين بسبب انخفاض نسبة غاز الأوكسجين مقارنة بنسبة غاز الأركون، بينما أظهرت فحوصات حيود الأشعة السينية للأغشية في المجموعة-4 و المجموعة-5 ظهور طور (Nb2O5) بعد التلدين و عدم ظهوره قبل التلدين لأن المعاملة الحرارية أدت الى الانتظام البلوري لطبقة أوكسيد النيوبيوم و بالتالي نمو الأطوار.
كما أظهرت فحوصات حيود الأشعة السينية للأغشية في المجموعة-6 وجود أطوار متعددة وواضحة لأوكسيد النيوبيوم (Nb2O5v) قبل و بعد التلدين نتيجة الزيادة الكبيرة لنسبة غاز الأوكسجين مقارنة بنسبة غاز الأركون و الذي أدى الى نمو الأطوار و أنتظام بلوري أكبر.
Abstract EN
Niobium Oxide (Nb2O5) films were prepared on glass substrates using a plasma sputtering system with different ratios of (O2/Ar) gas mixture.
The annealing process of all samples was done at (650 °C) for one hour.
The X-ray diffraction (XRD) results of the Niobium oxide (Nb2O5) films of ratios in group-1, group-2 and group-3 show that the phase of Niobium Oxide was not present before and after annealing, due to the decrease in the ratio of oxygen gas compared to the ratio of Argon gas.
While the X-ray diffraction (XRD) of Niobium oxide films of ratios in group-4 and group-5 indicated the phase of Niobium Oxide (Nb2O5) after the annealing because the heat treatment led to the crystalline uniformity of the layer of Niobium oxide and thus the growth of the phases.
Also, the X-ray diffraction (XRD) of (Nb2O5) films of ratio in group-6 demonstrates the presence of multiple and clear phases of Niobium oxide (Nb2O5) before and after annealing, as a result of the large increase in the proportion of oxygen gas compared to the proportion of the Argon gas, which led to the growth of the phases and the largest crystalline system.
American Psychological Association (APA)
Atiyyah, Riyad Ibrahim& Abd, Hasan Jumah& Hashim, Abd al-Jalil Muhammad. 2019. Effect of (O2Ar) different mixing ratios in a glow discharge plasma on the structural properties of niobium oxide film. Iraqi Journal of Science and Technology،Vol. 10, no. 3, pp.27-32.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1439580
Modern Language Association (MLA)
Atiyyah, Riyad Ibrahim…[et al.]. Effect of (O2Ar) different mixing ratios in a glow discharge plasma on the structural properties of niobium oxide film. Iraqi Journal of Science and Technology Vol. 10, no. 3 (2019), pp.27-32.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1439580
American Medical Association (AMA)
Atiyyah, Riyad Ibrahim& Abd, Hasan Jumah& Hashim, Abd al-Jalil Muhammad. Effect of (O2Ar) different mixing ratios in a glow discharge plasma on the structural properties of niobium oxide film. Iraqi Journal of Science and Technology. 2019. Vol. 10, no. 3, pp.27-32.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1439580
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 31-32
Record ID
BIM-1439580