![](/images/graphics-bg.png)
A new numerical approach for modeling of silicon piezoresistive sensors
Joint Authors
Source
Sciences et Technologie : Sciences Appliquées
Issue
Vol. 2007, Issue 26 (31 Dec. 2007), pp.7-14, 8 p.
Publisher
Publication Date
2007-12-31
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
8
Main Subjects
Topics
Abstract AR
في هذا البحث (المقال)، نقدم الاستجابة الثابتة لغشاء دقيق من سيليسيوم مربع أو مستطيل الشكل، أخضع لضغط ثابت و منتظم، في إطار الاضطرابات الضعيفة.
نستعمل طريقة Gherkin مع دوال أساسية مثلثيه قصد الحصول على استجابة بسيطة و دقيقة (w (x, y لغشاء السيليسيوم قمنا بعدها يتفحص لاقط ذو مقاومة متغيرة مع الضغط و متكون من غشاء دقيق من السيليسيوم مربع أو مستطيل الشكل، و هذا باستعمال 4 مسابر، ركبت على شكل جسر Wheatston معامل المسبار (K)، حساسيته (Sp) و توتر المخرج (ΔV) فحصوا و حللوا.
النتائج المتحصل عليها تظهر بأن التغير في المقاومة نتيجة الضغط المطبق هو تغير خطي داخل المجال [ 0، 10 بار].
Abstract EN
In this paper, we present a static response of a square or rectangular silicon membrane under uniform and constant pressure, in the case of weak perturbations.
We employ Galerkin method with trigonometrically basis functions to provide an accuracy and simple solution w(x, y) for the silicon membrane.
We then investigated a piezoresistive pressure sensor that have a silicon diaphragm with rectangular or square shape and employ piezoresistives gages.
These gages are linked together in the form of Wheatstone bridge.
The gages factor (K), sensitivity (Sp) and output voltage (ΔV) is analysed.
The results obtained show that the change of resistance due to pressure was linear over a pressure range of [0 to 10bar].
American Psychological Association (APA)
Kerrour, F.& Hobar, F.. 2007. A new numerical approach for modeling of silicon piezoresistive sensors. Sciences et Technologie : Sciences Appliquées،Vol. 2007, no. 26, pp.7-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-278072
Modern Language Association (MLA)
Kerrour, F.& Hobar, F.. A new numerical approach for modeling of silicon piezoresistive sensors. Sciences et Technologie : Sciences Appliquées No. 26 (2007), pp.7-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-278072
American Medical Association (AMA)
Kerrour, F.& Hobar, F.. A new numerical approach for modeling of silicon piezoresistive sensors. Sciences et Technologie : Sciences Appliquées. 2007. Vol. 2007, no. 26, pp.7-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-278072
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 13-14
Record ID
BIM-278072