Model calculation for ion implantation
Joint Authors
Said, Fatimah Husayn
al-Mukh, Janan Majid
Isa, S. I.
Source
Issue
Vol. 24, Issue 1A (30 Apr. 2006), pp.109-118, 10 p.
Publisher
University of Basrah College of Science
Publication Date
2006-04-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
10
Main Subjects
Abstract AR
في هذا البحث تمت دراسة عملية انتشار غاز ذري تم حقنة بالزرع الأيوني في طبقة ما بسمك معين إذ تم فحصها باستخدام معادلة التركيز الموقعي لذرات الغاز.
فحصت عملية زرع الايونات في غشاء متعدد الطبقات و تمت مغايرتها و نوقشت الحالات مختلفة.
لقد افترضنا أن الفيض الأيوني المزروع على السطح لا يحدث عملية سبترة لذرات الهدف أو بكلمات أخرى أن معامل السبترة يكون صغير و الذي يعني أن الأيونات الساقطة خفية.
Abstract EN
In this paper, the diffusion of gas atoms that injected by ion implantation into a layer of certain thickness is studied and investigated by using the equation for the local gas atom concentration.
The ion implantation in to multilayer membrane will be investigated and parameterized, with various situations will be discussed.
Notablly, we assume that the implanted ion flux up on the surface dose not sputter the target atomes or in other words the coefficient of sputtering is small which means that the incident ions are light.
American Psychological Association (APA)
Said, Fatimah Husayn& al-Mukh, Janan Majid& Isa, S. I.. 2006. Model calculation for ion implantation. Basrah Journal of Science،Vol. 24, no. 1A, pp.109-118.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-290264
Modern Language Association (MLA)
Said, Fatimah Husayn…[et al.]. Model calculation for ion implantation. Basrah Journal of Science Vol. 24, no. 1-A (2006), pp.109-118.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-290264
American Medical Association (AMA)
Said, Fatimah Husayn& al-Mukh, Janan Majid& Isa, S. I.. Model calculation for ion implantation. Basrah Journal of Science. 2006. Vol. 24, no. 1A, pp.109-118.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-290264
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 118
Record ID
BIM-290264
