Influence of the self-bias voltage on the microstructure of hydrogenated amorphous carbon films elaborated by rf-pecvd
Joint Authors
Baghdad, R.
Zellama, K.
Hadj-Zoubir, N.
Boukhors, F.
Source
Sciences et Technologie : Sciences Exactes
Issue
Vol. 2009, Issue 30 (31 Dec. 2009), pp.9-14, 6 p.
Publisher
Publication Date
2009-12-31
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
6
Main Subjects
Abstract AR
صنعت بطريقة الترسيب الكيميائي، باستخدام ((a-C : H نتناول في هذه المذكرة دراسة مفصلة للتركيبة البنيوية لطبقات من الكربون الهيدروجيني اللابلوري .
V أثناء الترسيب من -150 إلى -240 (Vp) في درجة حرارة مثالية ثابتة مع تغيير قيم فرق الكمون المطبق (PECVD) غاز فحم هيدروجيني بوجود بلازما (RAMAN) لهذا الغرض، نستعين بتقنيتين تجريبيتين متتامتين و هما : طيفية أشعة تحت الحمراء و طيفية.
إن النتائج المتحصل عليها باستعمال التقنية الأولى، تشير إلى أن الهيدروجين الموجود في الطبقات المدروسة ملتصق بذرات الكربون الموجودة في مجموعات = x) مع sp3CHx لتكون أصناف (sp3C).
التحاليل المدققة تبين أن أكثر من60 % من ذرات الهيدروجين ملتصقة بمجموعات (sp3C) و (sp2C) من نوع.
هذه الأخيرة هي في الأصل كومات (sp2CH) لتكوين أصناف من نوع (sp2C)، بينما 13 إلى 17 % فقط من الهيدروجين ملتصق بمجموعات (3, 2غرافيتية في شكل حلقات عطرية، إذ أننا وجدنا علاقة خطية بين نسبة (a-C : H) أثر ملحوظ على التركيبة البنيوية لطبقات (Vp) أن لفرق الكمون (RAMAN) من جهة أخرى، تؤكد تقنية و انخفاض قيمة العرض (ID / IG)، نلاحظ ارتفاع النسبة (Vp) : عند ارتفاع (G) لذروة (G□) و العرض النصفي ((ID / IG G)) و (D) شدتي الذروتين 166 و (التي تميز طبقاتنا و المتراوحة بين (G□) متأثر من ظهور تدريجي و متزايد للكومات الغرافيتية.
إن قيمة (G□).
هذه النتائج تعني أن (G□) النصفي .10A، يبين أن قياس الكومات الغرافيتية لا تتجاوز (1 ≥ ID / IG) التي لا تفوق 1 (ID / IG) و قيمة النسبة 1-178 (cm- كل هذه النتائج، و النتائج الأخرى المتحصل عليها عن طريق تقنيات أخرى، كالتقنيات الضوئية في مجال ما فوق البنفسجي و المرئي، زيادة على تقنية قياس، بل بينها.
DLC و لا طبقات PLCكمية الهيدروجين، تشير إلى أن لطبقاتنا خصوصيات بنيوية لا هي خصوصيات طبقات.
Abstract EN
Hydrogenated amorphous carbon films (a-C : H) were deposited at room temperature in an rf-PECVD reactor using different DC self-biases (150 – 240 V).
The microstructure of the films was then analyses by infrared transmission spectroscopy and Raman spectroscopy.
The IR results show that hydrogen is bonded to both sp3C and sp2C atoms in all samples : more than 60 % of bonded H is in sp3CHx groups (x = 2, 3) while only 13 to 17 % is in sp2CH species in graphitic clusters (probably aromatic rings).
The influence of self-bias voltage Vb on the microstructure of the a-C : H films is also demonstrated by Raman scattering analysis.
Indeed, a linear relationship between the ratio of the integrated intensity of the D peak over that of the G one (ID / IG) and the G peak FWHM (¬G) was found for films prepared at relatively high Vb values (Vb higher than-150 V).
As the DC bias Vb increases, the ratio ID / IG increases while ¬G becomes narrower.
Also ¬G is strongly affected by the graphitization of the material and hence the presence of graphitic clusters.
The observed values of ¬G (166–178 cm-1) and ID / IG (≤ 1) for our films suggest that the graphitic clusters sizes are less than 10 Å.
Moreover, the relative low hydrogen content of these films, as shown by infrared transmission spectra, in addition to the former characteristics and to the values of band gap width, indicate that our a-C : H films seem to exhibit properties which lie between those of polymeric and DLC films.
American Psychological Association (APA)
Hadj-Zoubir, N.& Boukhors, F.& Baghdad, R.& Zellama, K.. 2009. Influence of the self-bias voltage on the microstructure of hydrogenated amorphous carbon films elaborated by rf-pecvd. Sciences et Technologie : Sciences Exactes،Vol. 2009, no. 30, pp.9-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-292962
Modern Language Association (MLA)
Hadj-Zoubir, N.…[et al.]. Influence of the self-bias voltage on the microstructure of hydrogenated amorphous carbon films elaborated by rf-pecvd. Sciences et Technologie : Sciences Exactes No. 30 (2009), pp.9-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-292962
American Medical Association (AMA)
Hadj-Zoubir, N.& Boukhors, F.& Baghdad, R.& Zellama, K.. Influence of the self-bias voltage on the microstructure of hydrogenated amorphous carbon films elaborated by rf-pecvd. Sciences et Technologie : Sciences Exactes. 2009. Vol. 2009, no. 30, pp.9-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-292962
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 14
Record ID
BIM-292962
