Stabilite thermique de films minces de nitrure de chrome (Cr-N)
Joint Authors
Rouag, N.
Mammeri, F. Z.
Chekour, L.
Source
Sciences et Technologie : Sciences Exactes
Issue
Vol. 2008, Issue 27 (30 Jun. 2008), pp.35-40, 6 p.
Publisher
Publication Date
2008-06-30
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
6
Main Subjects
Abstract FRE
Cette étude porte sur la stabilité thermique de couches minces dures de nitrure de chrome Cr-N, élaborées par dépôt physique en phase vapeur PVD (Physical Vapour deposition).
Nous avons suivi l’influence de la température de recuit sur la morphologie de films CrN, déposés sur des substrats de silicium par pulvérisation magnétron.
Nous avons procédé à des caractérisations en microscopie électronique à balayage (MEB) équipé en microanalyse X (EDX).
Des recuits sous azote d’une heure, entre 600°C et 1000°C, effectués sur des revêtements CrN d’épaisseur 530 nm, ont montré la stabilité thermique de ces revêtements aux basses températures.
A partir de 1000°C la phase CrN cède complètement la place à la phase Cr2O3.
Les résultats obtenus en MEB ET EDX sont comparés à ceux obtenus par DRX.
American Psychological Association (APA)
Mammeri, F. Z.& Chekour, L.& Rouag, N.. 2008. Stabilite thermique de films minces de nitrure de chrome (Cr-N). Sciences et Technologie : Sciences Exactes،Vol. 2008, no. 27, pp.35-40.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-293493
Modern Language Association (MLA)
Mammeri, F. Z.…[et al.]. Stabilite thermique de films minces de nitrure de chrome (Cr-N). Sciences et Technologie : Sciences Exactes No. 27 (2008), pp.35-40.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-293493
American Medical Association (AMA)
Mammeri, F. Z.& Chekour, L.& Rouag, N.. Stabilite thermique de films minces de nitrure de chrome (Cr-N). Sciences et Technologie : Sciences Exactes. 2008. Vol. 2008, no. 27, pp.35-40.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-293493
Data Type
Journal Articles
Language
French
Notes
Includes bibliographical references : p. 40
Record ID
BIM-293493