![](/images/graphics-bg.png)
The growth and investigation of interface of SiO2 Si by anodic oxidation technique using acetic acid medium
Other Title(s)
إستقصاء السطح البيني SiO2Si المنمى بطريقة تقنية الأكسدة الانودية باستخدام حامض الخليك
Joint Authors
Sulayman, Sad Allah T.
al-Jamal, Yahya N.
Isa, Asim A.
Source
Issue
Vol. 23, Issue 4 (31 Dec. 2012), pp.117-126, 10 p.
Publisher
University of Mosul College of Science
Publication Date
2012-12-31
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
10
Main Subjects
Abstract AR
KNO تقنية الأكسدة الانودية وباستعمال محلول حامض ألخليك بوجود 3 ذي سمك nm (2.2- 12.9), و المنمى على أرضية سيليكونية متعدد البلورات نوع p-type و ذلك باستخدام تقنية الأكسدة الأنوية و باستعمال محلول حامض ألخليك بوجود KN03 0.1N كالكتروليت مساعد.
في هذه التقنية تبين ظهور قمة التنشيط في منحني الاستقطاب.
و لقد تبين من التحليل الكيميائي لسطح S i02 باستخدام SEM بوجود غاز الأوكسجين (02), و عنصر الكربون (C).
و كذلك لوحظ أن سمك الأوكسيد S i02 يزداد بزيادة جهد الإنماء.
تم استخدام FTIR للتعرف على نوعية السطح البيني / Si S i02 و لقد وجد أن قيمة كل من زحف حزمة الامتصاصية و زاوية الآصرة (Si–O–Si) يعتمدان على سمك الأوكسيد و أخيرا تم استخدام تقنية AFM لدراسة طبوغرافية الناونية لغشاء S i02 و وجد أن هناك علاقة بين سمك الأوكسيد و معدل خشونة السطح إذ تزداد خشونة السطح مع زيادة سمك الأوكسيد.
Abstract EN
This work investigats the physical properties and the nanotopography of the growth SiO2 film in the thickness range (2.2- 12.9) nm on Silicon polycrystalline p-type substrates, by using the anodic oxidation technique using acetic acid medium containing 0.1N KNO3 as supporting electrolyte.
In this technique the polarization curve indicates the presence of active peak.
The chemical analysis of the surface of SiO2 has been done by (SEM) shows the presence of O2 gas and C element, the films thickness has been found to increase as formation potential increases.
The quality of the SiO2 / Si interface, as examined by FTIR and it appears, the value of band apbsorption displacement depends on SiO2 thickness.
Moreover the bond angle Si–O–Si has been found to depend on SiO2 thickness.
The (AFM) is used to study the nanotopography of SiO2 film.
However it has been found that a relation between SiO2 film thickness and roughness of the SiO2 film (As the SiO2 thickness increase the surface roughness of SiO2 film increase too).
American Psychological Association (APA)
Sulayman, Sad Allah T.& al-Jamal, Yahya N.& Isa, Asim A.. 2012. The growth and investigation of interface of SiO2 Si by anodic oxidation technique using acetic acid medium. Rafidain Journal of Science،Vol. 23, no. 4, pp.117-126.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-322233
Modern Language Association (MLA)
al-Jamal, Yahya N.…[et al.]. The growth and investigation of interface of SiO2 Si by anodic oxidation technique using acetic acid medium. Rafidain Journal of Science Vol. 23, no. 4 (2012), pp.117-126.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-322233
American Medical Association (AMA)
Sulayman, Sad Allah T.& al-Jamal, Yahya N.& Isa, Asim A.. The growth and investigation of interface of SiO2 Si by anodic oxidation technique using acetic acid medium. Rafidain Journal of Science. 2012. Vol. 23, no. 4, pp.117-126.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-322233
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 124-126
Record ID
BIM-322233