![](/images/graphics-bg.png)
Investigation of plasma characteristics of center region of post cylindrical magnetron sputtering device
Other Title(s)
دراسة خصائص البلازما في منطقة المركز لمنظومة الترذيذ الماكنترون ذات الأبعاد الأسطوانية
Joint Authors
Abd Allah, Rahman Rustum
Jiad, Baha Tumah
Abbas, Qusayy Adnan
Source
Issue
Vol. 8, Issue 11 (30 Apr. 2010), pp.33-40, 8 p.
Publisher
University of Baghdad College of Science
Publication Date
2010-04-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
8
Main Subjects
Topics
Abstract AR
في هذا العمل تم تصميم و تكوين منظومة الترذيذ الماكنترون.
إن حجرة هذه المنظومة تتكون من اسطوانتين نحاسيتين ذات محور مشترك.
حيث استخدمت الاسطوانة الداخلية كقطب سالب أما الاسطوانة الخارجية استخدمت كقطب موجب حيث يكون الملف المغناطيسي موضوع على السطح الخارجي للاسطوانة الخارجية (الأنود).
تم دراسة توزيع اﻟﻤﺠال المغناطيسي المتولد في الملف لتيارات مختلفة تتراوح بين (2 إلى 12 أمبير).
إن نتائج هذا العمل قد فحصت باستخدام ثلاثة مجاميع من مجسات الأنجمور الاسطوانية مختلفة الأقطار و هي 1 ملي متر، 0,45 ملي متر، 2,2 ملي متر.
إن نتائج هذه اﻟﻤﺠسات قد بينت بأن هناك مجموعتين من الالكترونات مختلفة الطاقة تخضع لتوزيع ماكسويل تظهر في منطقة المركز.
بالإضافة إلى ذلك فقد لوحظ بأن كثافة الإلكترون و الأيون تقل مع زيادة قوة اﻟﻤﺠال المغناطيسي.
Abstract EN
A d.c.
magnetron sputtering system was designed and fabricated.
The chamber of this system is consisted from two copper coaxial cylinders.
The inner one used as the cathode and the outer one used as anode with magnetic coil located on the outer cylinder (anode).
The axial behavior of the magnetic field strength along the cathode surface for various coil current (from 2A to 14A) are shown.
The results of this work are investigated by three cylindrical Langmuir probes that have different diameters that are 2.2mm, 1mm, and 0.45mm.
The results of these probes show that, there are two Maxwell Ian electron groups appear in the central region.
As well as, the density of electron and ion decreases with increases of magnetic field strengths.
American Psychological Association (APA)
Jiad, Baha Tumah& Abd Allah, Rahman Rustum& Abbas, Qusayy Adnan. 2010. Investigation of plasma characteristics of center region of post cylindrical magnetron sputtering device. Iraqi Journal of Physics،Vol. 8, no. 11, pp.33-40.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-325520
Modern Language Association (MLA)
Jiad, Baha Tumah…[et al.]. Investigation of plasma characteristics of center region of post cylindrical magnetron sputtering device. Iraqi Journal of Physics Vol. 8, no. 11 (2010), pp.33-40.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-325520
American Medical Association (AMA)
Jiad, Baha Tumah& Abd Allah, Rahman Rustum& Abbas, Qusayy Adnan. Investigation of plasma characteristics of center region of post cylindrical magnetron sputtering device. Iraqi Journal of Physics. 2010. Vol. 8, no. 11, pp.33-40.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-325520
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 40
Record ID
BIM-325520