![](/images/graphics-bg.png)
An ion beam transport design optimization in a medium range ion implanter system
Author
Source
The Arabian Journal for Science and Engineering. Section A, Science
Issue
Vol. 33, Issue 2A (31 Jul. 2008), pp.345-359, 15 p.
Publisher
King Fahd University of Petroleum and Minerals
Publication Date
2008-07-31
Country of Publication
Saudi Arabia
No. of Pages
15
Main Subjects
Abstract AR
لقد تم -في هذا البحث- إنجاز تحسن نموذج تبئير الحزمة الناقلة في منظومة الزرع ألا ايوني مع تحديد استعمال العناصر البصرية الرئيسية مع نشأنها التي تؤثر على الجسيم المشحون.
و قد اشتقت معادلات الحركة للجسيمات المشحونة مع المصفوفات لكل عنصر بصري آخذين بالاعتبار أن الحركة عند المستويات المختلفة تكون مستقلة لكل منها.
و اعتمد تقريبيان لغرض الحصول على معلمات الحزمة الأقرب إلى المثالية.
في التقريب الأول شكل الحزمة عند رباعي البعد : σ (out) = R.σ(in).RT و إنجاز نقل الحزمة في درجة الصفر (حيز الانسياق الثنائي القطب) و الدرجة الأولى (رباعي القطب و المغناطيس).
و في التقريب الثاني يكون توزيع الجسيمات بشكل جاوسي عند مساحة إحداثياتها الفضائية.
و قد وجد أن حسابات معاملات الابتعاث و السطوع لحزمة الأيون أكثر تأثيرا لطاقة الجسام المشحون و كلاهما قيمة معيارية ثابتة.
و تم إجراء مقارنة و تقييم في تعريف موقع و تأثير المعلمات التصميمية لكل عنصر بصري مع منظومة متوفرة للزرع الأيون.
Abstract EN
An improvement of the transport beam focusing model in an ion implanter system has been achieved, with the definition of the main optical elements used and their parameters’ effect on charged particles.
The equations of motion of charged particles and matrices in each optical element have been derived, with consideration of the motion in different planes.
Two assumptions were made in obtaining the optimized beam parameters.
In the first assumption, the four-dimensional beam ellipsoid (σ (out) = R.
σ (in).RT ), the beam transport is accomplished in zero order (drift space and dipole) and first order (quadrupole and magnet).
In the second assumption, the particle distribution is normal in the area of its space coordinates.
Calculations of the emittance and the brightness factors of the ion beam are found to be more affected by the energy of charged particles.
The emittance and brightness have constantnormalized values. A comparison and evaluation was made of the definition of the location and the effect of the designed parameters for each optical element within the available ion implantation design system.
American Psychological Association (APA)
Jasim, Mahdi Hadi. 2008. An ion beam transport design optimization in a medium range ion implanter system. The Arabian Journal for Science and Engineering. Section A, Science،Vol. 33, no. 2A, pp.345-359.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-330151
Modern Language Association (MLA)
Jasim, Mahdi Hadi. An ion beam transport design optimization in a medium range ion implanter system. The Arabian Journal for Science and Engineering. Section A, Science Vol. 33, no. 2A (Jul. 2008), pp.345-359.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-330151
American Medical Association (AMA)
Jasim, Mahdi Hadi. An ion beam transport design optimization in a medium range ion implanter system. The Arabian Journal for Science and Engineering. Section A, Science. 2008. Vol. 33, no. 2A, pp.345-359.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-330151
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 359
Record ID
BIM-330151