Effect of substrate temperature on optical and structural properties of indium oxide thin films prepared by reactive PLD method

Other Title(s)

تأثير درجة حرارة القاعدة على الخصائص البصرية و التركيبية لأغشية أوكسيد الأنديوم الرقيقة المحضرة بواسطة الترسيب بالليزر النبضي

Author

Fakhri, Makram A.

Source

Engineering and Technology Journal

Issue

Vol. 32, Issue 5A (31 May. 2014), pp.1323-1330, 8 p.

Publisher

University of Technology

Publication Date

2014-05-31

Country of Publication

Iraq

No. of Pages

8

Main Subjects

Physics

Topics

Abstract AR

تم في هذا البحث دراسة تأثير درجة حرارة القاعدة على الخصائص البصرية و المورفولوجية لسطح الأغشية الرقيقة المحضرة بطريقة الترسيب بالليزر النبضي.

تم استخدام ليزر نديميوم ياك النبضي يعمل بضابط عامل نوعية بطول موجي 1.06 مايكرومتر و أمد نبضة 7 نانو ثانية و بطاقة 400 ملي جول / سم2 لغرض إجراء عملية الاستئصال لسطح معدن الندميوم عالي النقاوة و لغرض الترسيب على سطح القواعد الزجاجية أظهرت نتائج الخصائص البصرية النفاذية العالية للأغشية المحضرة و التي تصل ال 85 % و التي سرعان ما تهبط بشدة مع نقصان درجة حرارة القاعدة.

القيمة المحسوبة لفجوة الطاقة وجدت لتكون حوالي 3.6 إلكترون فولت عند الدرجة الحرارية التي اختيرت لتكون المثلى (70˚C).

نتائج النفاذية للمنطقة تحت الحمراء FTIR أكدت وجود الآصرة نوع الاهتزازي بين مادتي الانديوم-الأوكسجين و بشدات اهتزاز مختلفة بالاعتماد على درجة الحرارة.

Abstract EN

In the present Work, effect of substrate temperatures on the optical and morphological properties of In2O3 trioxide thin film has been carried out using Reactive Pulsed Laser as a Deposition technique (RPLD).

1.064μm, 7 nsec Q-switch Nd-YAG laser with 400 mJ / cm2 laser energy’s has been used to ablated pure Indium target and deposited on glass substrates.

The resulted films show High transparency reached to about (85) % which found to decrease sharply with the substrate temperatures.

The estimated optical band gap found to be about 3.6eV at optimum substrate temperatures (70 Co).

The FTIR results insure the formation ofIn-O vibrational bond with different vibrational intensity depending on substrate Temperatures.

American Psychological Association (APA)

Fakhri, Makram A.. 2014. Effect of substrate temperature on optical and structural properties of indium oxide thin films prepared by reactive PLD method. Engineering and Technology Journal،Vol. 32, no. 5A, pp.1323-1330.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-376786

Modern Language Association (MLA)

Fakhri, Makram A.. Effect of substrate temperature on optical and structural properties of indium oxide thin films prepared by reactive PLD method. Engineering and Technology Journal Vol. 32, no. 5A (2014), pp.1323-1330.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-376786

American Medical Association (AMA)

Fakhri, Makram A.. Effect of substrate temperature on optical and structural properties of indium oxide thin films prepared by reactive PLD method. Engineering and Technology Journal. 2014. Vol. 32, no. 5A, pp.1323-1330.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-376786

Data Type

Journal Articles

Language

English

Notes

Text in English ; abstracts in English and Arabic.

Record ID

BIM-376786