Morphological aspects of oxidized porous silicon prepared by photo electrochemical etching
Other Title(s)
جوانب طوبغرافية للسليكون المسامي المؤكسد المحضر بطريقة التنميش (الفوتو-كهروكيميائي)
Parallel Title
جوانب طوبغرافية للسليكون المسامي المؤكسد المحضر بطريقة التنميش (الفوتو-كهروكيميائي)
Joint Authors
Ulwan, Ulwan M.
Ahmad, Zahra S.
Ali, A. A.
Source
Engineering and Technology Journal
Issue
Vol. 28, Issue 02 (30 Jun. 2010), pp.314-321, 8 p.
Publisher
Publication Date
2010-06-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
8
Main Subjects
Topics
Abstract AR
في هذا البحث تم دراسة الخصائص الطبوغرافية لنماذج مـن السـليكون المسـامي و السـليكون المسامي المؤكسد المحضرة من السليكون المانح بطريقة الفوتو- كهروكيميائي كدالة للعوامل التجريبية بالاعتماد على صور المجهر الإلكتروني الماسح لطبقات عينات السليكون المسامي قبل و بعـد عمليـة أكسدة الحرارية السريعة تحت ظروف أكسدة مختلفة .
و لقد تم دراسة المتغيرات التالية (طبوغرافية السطح, قطر المسامة، شكل المسامة، سمك الجدار بين مسامتين، و قيم المسامية بالاعتماد على تحليل صور المجهر الإلكتروني الماسح.
Abstract EN
This paper reports morphological properties of porous silicon and oxidized porous silicon, prepared by photo electrochemical etching from n-type silicon wafers as a function of experimental parameters.
Scanning electron microscopic (SEM) Observations of porous silicon layers were obtained before and after rapid thermal oxidation process under different preparation and oxidation conditions .The surface morphology, Pore diameter, wall thickness, pore shape and porosity values were, studied based on microstructure analyses of (SEM) images.
American Psychological Association (APA)
Ulwan, Ulwan M.& Ahmad, Zahra S.& Ali, A. A.. 2010. Morphological aspects of oxidized porous silicon prepared by photo electrochemical etching. Engineering and Technology Journal،Vol. 28, no. 02, pp.314-321.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-45980
Modern Language Association (MLA)
Ulwan, Ulwan M.…[et al.]. Morphological aspects of oxidized porous silicon prepared by photo electrochemical etching. Engineering and Technology Journal Vol. 28, no. 02 (2010), pp.314-321.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-45980
American Medical Association (AMA)
Ulwan, Ulwan M.& Ahmad, Zahra S.& Ali, A. A.. Morphological aspects of oxidized porous silicon prepared by photo electrochemical etching. Engineering and Technology Journal. 2010. Vol. 28, no. 02, pp.314-321.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-45980
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 317
Record ID
BIM-45980