Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H
Joint Authors
Babahani, Oumelkheir
Khalfawi, Fathi
Source
Annales des Sciences et Technologie
Issue
Vol. 6, Issue 2 (31 Dec. 2014), pp.156-164, 9 p.
Publisher
University Kasdi Merbah Ouargla
Publication Date
2014-12-31
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
9
Main Subjects
Topics
Abstract EN
This work presents a Monte Carlo Simulation (MCS) of chemical reactions that occur in the volume of a PECVD reactor during deposition of a-C:H thin film elaborated from (CH4 / H2) mixture.
Besides CH4 and H2, molecules and radicals taken in account in this study are CH3, CH2, CH, C2H5, C2H6 and H.
The MCS is based on binary collisions.
MCS allowed us to obtain the densities and the molecular fractions of different particles and other parameters related to reaction rates.
The results are in good agreement with other works.
Abstract FRE
Ce travail présente une simulation par la méthode de Monte Carlo (SMC) des réactions chimiques qui se produisent dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C : H élaboré à partir d'un mélange gazeux (CH4 / H2).
En plus de CH4 et H2, les molécules et les radicaux considérés dans l'étude sont CH3, CH2, CH, C2H5, C2H6 et H.
La SMC se base sur les collisions binaires.
La SMC nous a permis d'obtenir les densités et les fractions molaires des particules ainsi que d'autres paramètres liés aux vitesses de réactions.
Les résultats sont en bon accord avec d'autres travaux.
American Psychological Association (APA)
Babahani, Oumelkheir& Khalfawi, Fathi. 2014. Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H. Annales des Sciences et Technologie،Vol. 6, no. 2, pp.156-164.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-541396
Modern Language Association (MLA)
Babahani, Oumelkheir& Khalfawi, Fathi. Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H. Annales des Sciences et Technologie Vol. 6, no. 2 (2014), pp.156-164.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-541396
American Medical Association (AMA)
Babahani, Oumelkheir& Khalfawi, Fathi. Simulation monte carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H. Annales des Sciences et Technologie. 2014. Vol. 6, no. 2, pp.156-164.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-541396
Data Type
Journal Articles
Language
French
Notes
Includes bibliographical references : p. 163-164
Record ID
BIM-541396
