Oxygen effect on nanostructure sno2 films and morphology by pulsed laser deposition
Other Title(s)
تأثير ضغط الأوكسجين على التراكيب النانوية و المورفوليجية لأغشية ثنائي أوكسيد القصدير بطريقة الترسيب بلليزر النبضي
Joint Authors
Haydar, Adawiya Jumah
Shakir, Suad S.
Source
Engineering and Technology Journal
Issue
Vol. 31, Issue 2B (28 Feb. 2013), pp.232-238, 7 p.
Publisher
Publication Date
2013-02-28
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
7
Main Subjects
Abstract AR
يتضمن هذا البحث ترسيب ثاني أوكسيد القصدير كأغشية رقيقه على السليكون باستخدام طريقة الترسيب باليزر النبضي و قد تم مناقشة تأثير ضغط الأوكسجين على الخصائص التركيبية لأغشية ثنائي أوكسيد القصدير.
و بينت نتائج حيود الأشعة السينية أن تركيب الأغشية قد تغير من تبلور عالي إلى تبلور قليل عند ضغط الأوكسيجين 10 ملي بار.
أما مورفولوجيا السطح للمادة المترسبة فقد تم دراسته أيضا باستخدام المجهر الماسح الإلكتروني و مجهر القوى الذرية.
و قد بينت النتائج أن الحجم الحبيبي للجسيمات النانوية عند السطح يعتمد على ضغط الأوكسجين.
عند زيادة ضغط الأوكسجين فإن كثافة الجسيمات تزداد أيضا.
حيث وجد أن ضغط أوكسجين (10-1x5) ملي بار كان أفصل ضغط خلال عمليه النمو.
بينما لوحظ بأن الخشونة تزداد مع زيادة ضغط الأوكسجين.
و كانت تساوي (11.3) نانو للأغشية المرسبة عند درجة حرارة 300 سيليزي.
Abstract EN
This work includes the deposition of SnO2 as a thin film on Si (111) by using the pulsed laser deposition method.
The influences of oxygen pressure on the structural properties of Tin dioxide films were investigated.
The X-ray diffraction results show that the structure of the films change from high polycrystalline to worse polycrystalline at an oxygen pressure of 10mbar.
The surface morphology of the deposits materials was also studied by using a scanning electron microscope (SEM) and atomic force microscope (AFM).
The results show that, the grain sizes of the nano particles observed at the surface depends on the oxygen pressure.
As the pressure of the O2 gas increases the densities of the particles increases too.
An oxygen pressure of 5×10-1 mbar was found the best pressure for the growth process.
While the RMS roughness was seen to increase with increasing oxygen pressure.
It was equal to (11.3 nm) for thin films deposited at (300)ºC.
American Psychological Association (APA)
Shakir, Suad S.& Haydar, Adawiya Jumah. 2013. Oxygen effect on nanostructure sno2 films and morphology by pulsed laser deposition. Engineering and Technology Journal،Vol. 31, no. 2B, pp.232-238.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-549539
Modern Language Association (MLA)
Shakir, Suad S.& Haydar, Adawiya Jumah. Oxygen effect on nanostructure sno2 films and morphology by pulsed laser deposition. Engineering and Technology Journal Vol. 31, no. 2B (2013), pp.232-238.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-549539
American Medical Association (AMA)
Shakir, Suad S.& Haydar, Adawiya Jumah. Oxygen effect on nanostructure sno2 films and morphology by pulsed laser deposition. Engineering and Technology Journal. 2013. Vol. 31, no. 2B, pp.232-238.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-549539
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 238
Record ID
BIM-549539