![](/images/graphics-bg.png)
Investigation the effect of oxygen flow rate on the properties of photoconductive TiO2 Si UV detector
Other Title(s)
استقصاء تأثير معدل تدفق الأوكسجين على خواص كاشف التوصيلية الضوئية للأشعة فوق البنفسجية لأوكسيد التيتانيوم سيليكون
Author
al-Jarrah, Radiyah Mahdi Shakir
Source
Issue
Vol. 7, Issue 1 (30 Jun. 2015), pp.97-104, 8 p.
Publisher
University of Kufa Faculty of Science Department of Physics
Publication Date
2015-06-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
8
Main Subjects
Topics
Abstract AR
تم تصتيع كاشف التوصيلية الضوئية بترسيب TiO2 على ركائز السيليكون بواسطة الترذيذ المغناطيسي المستمر.
تم استخدام الأوكسجين النقي و الأركون النقي كغاز متفاعل و غاز ترذيذ على التوالي.
خلط غاز الأوكسجين بمعايير جريان (l0-20-30-40-50)m.s) حجم مكعب لكل دقيقة) و الأركون بجريان ثابت مقداره m.s 50 دخولهما إلى حجرة التفريغ.
و قد تم التحقيق الخصائص التركيبية لأغشية TiO2 الرقيقة عن طريق حيود الأشعة السينية.
أظهرت نتائج حيود الأشعة السينية (XRD) ثلاث أطوار و هي Rutile وAnataseوBrookite٬ تتغير نسب هذه الأطوار بالاعتماد على تغير تدفق الأوكسجين.
تم تحسين الاستجابة الضوئية لأغشيــــه ثنائي أوكسيد التيتانيوم (W /A 24.2) بطلائها بطبقه نانويه من بوليمير نوع (بولي أمايند).
أظهرت هذه الكواشف سرعه استجابة عاليه لأشعه فوق البنفسجيه بزمن نهوض قدره l70 مايكروثانيه عند تعرضها إلى ليزر نايتروجين نبضي عالي السرعة.
درست الخصائص الطيفية للمفرق Si /TiO2 ووجدنا أن أعظم قيمة للاستجابة الطيفية حدثت عند طول موجي يساوي385nm.
أن الاستجابة و الكشفية النوعية و الكفاءة الكمية تزداد بزيادة تدفق الأوكسجين٬ في حين أن القدرة المكافئة للضوضاء تتناقص مع زيادة تدفق الأوكسجين.
وقد لوحظ أن أفضل استجابة طيفية تحدث عندما يكون تدفق الأوكسجين مساويل sccm 50 و أن هذه القيمة هي المثلى لتحضير غشاء ال TiO2 ليعمل كنبيطة ضوئية..
Abstract EN
UV photoconductive detector was fabricated by the deposition of TiO2 film on silicon by dc magnetron sputtering.
Pure oxygen and Argon were used as the reactive and sputtering gases respectively.
The gases were mixed prior to the admission in the sputtering chamber [oxygen flow 10, 20, 30, 40 and 50 s.m (stander centimeter cubic per minute) with constant argon flow].
The structure properties of TiO2 thin films were investigated by means of X-ray diffraction.
X-ray diffraction (XRD) patterns showed three phases Rutile, Anatase and Brookite .
The ratio between these phases changed and depended on oxygen flow.
The deposited TiO2 film was coated by nanosheet of polyamind polymer to improve the photoresponsivity of the detector and to reduced the response time of the TiO2 UV detector to about 170 μs.
The final device was tested with high speed pulsed nitrogen laser.
The spectral responses of TiO2/Si junction were studied.
The maximum value of responsivity occurred at wavelength equals to 385 nm.
The responsivity, quantum efficiency and specific detectivity increased with increasing of the oxygen flow, while the noise equivalent power decreased with increasing the oxygen flow.
It has been observed that the best spectral response occurs when the oxygen flow equal to 50 s.m and we can say that this value of oxygen flow is the optimum condition for TiO2 photoconductive detector preparation.
American Psychological Association (APA)
al-Jarrah, Radiyah Mahdi Shakir. 2015. Investigation the effect of oxygen flow rate on the properties of photoconductive TiO2 Si UV detector. Journal of Kufa-Physics،Vol. 7, no. 1, pp.97-104.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-588364
Modern Language Association (MLA)
al-Jarrah, Radiyah Mahdi Shakir. Investigation the effect of oxygen flow rate on the properties of photoconductive TiO2 Si UV detector. Journal of Kufa-Physics Vol. 7, no. 1 (2015), pp.97-104.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-588364
American Medical Association (AMA)
al-Jarrah, Radiyah Mahdi Shakir. Investigation the effect of oxygen flow rate on the properties of photoconductive TiO2 Si UV detector. Journal of Kufa-Physics. 2015. Vol. 7, no. 1, pp.97-104.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-588364
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 103-104
Record ID
BIM-588364