دراسة تأثير تغير زمن الأكسدة في الخصائص التركيبية لأغشية In2O3 الرقيقة
Other Title(s)
Studying the effect of oxidation time on the structural properties of In2O3 thin films
Joint Authors
شيماء أحمد كاظم
حمد، علية عبد المحسن شهاب
Source
مجلة ابن الهيثم للعلوم الصرفة و التطبيقية
Issue
Vol. 28, Issue 3 (31 Dec. 2015), pp.418-424, 7 p.
Publisher
University of Baghdad College of Education for Pure Science / Ibn al-Haitham
Publication Date
2015-12-31
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
7
Main Subjects
Topics
Abstract EN
This paper examines the effect of changing time of oxidation on structural properties of indium oxide triple (In2O3) thin films that are deposited on glass indium substrates and other of the silicon, by vacuum evaporation method of then oxidized by thermal oxidation technology.
It was the thickness of the film (400 ± 10 nm) in temperature (673 K) and for different times .
The results of measurements of structural properties (SEM, AFM and XRD) are at the time of the oxidation of one hour , the best properties which are obtained where the value of each of the roughness , rate of the roughness and grain size are of less ,as well as calculating the density of the dislocations , strain , number crystals and the value of each of them show the biggest at the same time .
American Psychological Association (APA)
حمد، علية عبد المحسن شهاب وشيماء أحمد كاظم. 2015. دراسة تأثير تغير زمن الأكسدة في الخصائص التركيبية لأغشية In2O3 الرقيقة. مجلة ابن الهيثم للعلوم الصرفة و التطبيقية،مج. 28، ع. 3، ص ص. 418-424.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-679352
Modern Language Association (MLA)
حمد، علية عبد المحسن شهاب وشيماء أحمد كاظم. دراسة تأثير تغير زمن الأكسدة في الخصائص التركيبية لأغشية In2O3 الرقيقة. مجلة ابن الهيثم للعلوم الصرفة و التطبيقية مج. 28، ع. 3 (2015)، ص ص. 418-424.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-679352
American Medical Association (AMA)
حمد، علية عبد المحسن شهاب وشيماء أحمد كاظم. دراسة تأثير تغير زمن الأكسدة في الخصائص التركيبية لأغشية In2O3 الرقيقة. مجلة ابن الهيثم للعلوم الصرفة و التطبيقية. 2015. مج. 28، ع. 3، ص ص. 418-424.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-679352
Data Type
Journal Articles
Language
Arabic
Notes
يتضمن ملحق : ص. 421-423
Record ID
BIM-679352