![](/images/graphics-bg.png)
Amorphous Hafnium-Indium-Zinc Oxide Semiconductor Thin Film Transistors
المؤلفون المشاركون
Chang, Sheng-Po
Shih, San-Syong
المصدر
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-4، 4ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-12-17
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
We reported on the performance and electrical properties of co-sputtering-processed amorphous hafnium-indium-zinc oxide (α-HfIZO) thin film transistors (TFTs).
Co-sputtering-processed α-HfIZO thin films have shown an amorphous phase in nature.
We could modulate the In, Hf, and Zn components by changing the co-sputtering power.
Additionally, the chemical composition of α-HfIZO had a significant effect on reliability, hysteresis, field-effect mobility (μFE), carrier concentration, and subthreshold swing (S) of the device.
Our results indicated that we could successfully and easily fabricate α-HfIZO TFTs with excellent performance by the co-sputtering process.
Co-sputtering-processed α-HfIZO TFTs were fabricated with an on/off current ratio of ~106, higher mobility, and a subthreshold slope as steep as 0.55 V/dec.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Chang, Sheng-Po& Shih, San-Syong. 2012. Amorphous Hafnium-Indium-Zinc Oxide Semiconductor Thin Film Transistors. Journal of Nanomaterials،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1029133
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Chang, Sheng-Po& Shih, San-Syong. Amorphous Hafnium-Indium-Zinc Oxide Semiconductor Thin Film Transistors. Journal of Nanomaterials No. 2012 (2012), pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1029133
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Chang, Sheng-Po& Shih, San-Syong. Amorphous Hafnium-Indium-Zinc Oxide Semiconductor Thin Film Transistors. Journal of Nanomaterials. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1029133
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1029133
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)