![](/images/graphics-bg.png)
The Liquid Sensor Using Thin Film Bulk Acoustic Resonator with C-Axis Tilted AlN Films
المؤلفون المشاركون
Chen, Ying-Chung
Chang, Wei-Tsai
Kao, Kuo-Sheng
Yang, Chun-Hung
Cheng, Chien-Chuan
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-11-19
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Dual-mode thin film bulk acoustic resonator (TFBAR) devices are fabricated with c-axis tilted AlN films.
To fabricate dual-mode TFBAR devices, the off-axis RF magnetron sputtering method for the growth of tilted piezoelectric AlN thin films is adopted.
In this report, the AlN thin films are deposited with tilting angles of 15° and 23°.
The frequency response of the TFBAR device with 23° tilted AlN thin film is measured to reveal its ability to provide dual-mode resonance.
The sensitivities of the longitudinal and shear modes to mass loading are calculated to be 2295 Hz cm2/ng and 1363 Hz cm2/ng with the mechanical quality factors of 480 and 287, respectively.
The sensitivities of the longitudinal and shear modes are calculated to be 0 and 15 Hz cm2/μg for liquid loading.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Chen, Ying-Chung& Chang, Wei-Tsai& Kao, Kuo-Sheng& Yang, Chun-Hung& Cheng, Chien-Chuan. 2013. The Liquid Sensor Using Thin Film Bulk Acoustic Resonator with C-Axis Tilted AlN Films. Journal of Nanomaterials،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031322
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Chen, Ying-Chung…[et al.]. The Liquid Sensor Using Thin Film Bulk Acoustic Resonator with C-Axis Tilted AlN Films. Journal of Nanomaterials No. 2013 (2013), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031322
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Chen, Ying-Chung& Chang, Wei-Tsai& Kao, Kuo-Sheng& Yang, Chun-Hung& Cheng, Chien-Chuan. The Liquid Sensor Using Thin Film Bulk Acoustic Resonator with C-Axis Tilted AlN Films. Journal of Nanomaterials. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031322
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1031322
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)