Influence of Annealing Temperature on the Characteristics of Ti-Codoped GZO Thin Solid Film
المؤلفون المشاركون
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-07-28
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This study utilizes radio frequency magnetron sputtering (RF sputtering) to deposit GZO transparent conductive film and Ti thin film on the same corning glass substrate and then treats GZO/Ti thin film with rapid thermal annealing.
The annealing temperatures are 300°C , 500°C, and 550°C, respectively.
Ti:GZO transparent conductive oxide (TCO) thin films are deposited on glass substrates using a radio frequency magnetron sputtering technique.
The thin films are then annealed at temperatures of 300°C, 500°C, and 550°C, respectively, for rapid thermal annealing.
The effects of the annealing temperature on the optical properties, resistivity, and nanomechanical properties of the Ti:GZO thin films are then systematically explored.
The results show that all of the annealed films have excellent transparency (~90%) in the visible light range.
Moreover, the resistivity of the Ti:GZO films reduces with an increasing annealing temperature, while the carrier concentration and Hall mobility both increase.
Finally, the hardness and Young’s modulus of the Ti:GZO thin films are both found to increase as the annealing temperature is increased.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Chen, Tao-Hsing& Liao, Tzu-Yu. 2013. Influence of Annealing Temperature on the Characteristics of Ti-Codoped GZO Thin Solid Film. Journal of Nanomaterials،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031422
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Chen, Tao-Hsing& Liao, Tzu-Yu. Influence of Annealing Temperature on the Characteristics of Ti-Codoped GZO Thin Solid Film. Journal of Nanomaterials No. 2013 (2013), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031422
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Chen, Tao-Hsing& Liao, Tzu-Yu. Influence of Annealing Temperature on the Characteristics of Ti-Codoped GZO Thin Solid Film. Journal of Nanomaterials. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031422
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1031422
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر