Sub-15 nm Silicon Lines Fabrication via PS-b-PDMS Block Copolymer Lithography
المؤلفون المشاركون
Morris, Michael A.
Rasappa, Sozaraj
Schulte, Lars
Borah, Dipu
Ndoni, Sokol
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-11-13
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper describes the fabrication of nanodimensioned silicon structures on silicon wafers from thin films of a poly(styrene)-block-poly(dimethylsiloxane) (PS-b-PDMS) block copolymer (BCP) precursor self-assembling into cylindrical morphology in the bulk.
The structure alignment of the PS-b-PDMS (33 k–17 k) was conditioned by applying solvent and solvothermal annealing techniques.
BCP nanopatterns formed after the annealing process have been confirmed by scanning electron microscope (SEM) after removal of upper PDMS wetting layer by plasma etching.
Silicon nanostructures were obtained by subsequent plasma etching to the underlying substrate by an anisotropic dry etching process.
SEM images reveal the formation of silicon nanostructures, notably of sub-15 nm dimensions.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Rasappa, Sozaraj& Schulte, Lars& Borah, Dipu& Morris, Michael A.& Ndoni, Sokol. 2013. Sub-15 nm Silicon Lines Fabrication via PS-b-PDMS Block Copolymer Lithography. Journal of Nanomaterials،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031590
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Rasappa, Sozaraj…[et al.]. Sub-15 nm Silicon Lines Fabrication via PS-b-PDMS Block Copolymer Lithography. Journal of Nanomaterials No. 2013 (2013), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031590
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Rasappa, Sozaraj& Schulte, Lars& Borah, Dipu& Morris, Michael A.& Ndoni, Sokol. Sub-15 nm Silicon Lines Fabrication via PS-b-PDMS Block Copolymer Lithography. Journal of Nanomaterials. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1031590
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1031590
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر