Raman Spectra of High-κ Dielectric Layers Investigated with Micro-Raman Spectroscopy Comparison with Silicon Dioxide
المؤلفون المشاركون
Latek, Mariusz
Taube, A.
Rzodkiewicz, W.
Gierałtowska, S.
Borowicz, Paweł
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-08-29
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الطب البشري
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Three samples with dielectric layers from high-κ dielectrics, hafnium oxide, gadolinium-silicon oxide, and lanthanum-lutetium oxide on silicon substrate were studied by Raman spectroscopy.
The results obtained for high-κ dielectrics were compared with spectra recorded for silicon dioxide.
Raman spectra suggest the similarity of gadolinium-silicon oxide and lanthanum-lutetium oxide to the bulk nondensified silicon dioxide.
The temperature treatment of hafnium oxide shows the evolution of the structure of this material.
Raman spectra recorded for as-deposited hafnium oxide are similar to the results obtained for silicon dioxide layer.
After thermal treatment especially at higher temperatures (600°C and above), the structure of hafnium oxide becomes similar to the bulk non-densified silicon dioxide.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Borowicz, Paweł& Taube, A.& Rzodkiewicz, W.& Latek, Mariusz& Gierałtowska, S.. 2013. Raman Spectra of High-κ Dielectric Layers Investigated with Micro-Raman Spectroscopy Comparison with Silicon Dioxide. The Scientific World Journal،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1032657
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Borowicz, Paweł…[et al.]. Raman Spectra of High-κ Dielectric Layers Investigated with Micro-Raman Spectroscopy Comparison with Silicon Dioxide. The Scientific World Journal No. 2013 (2013), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1032657
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Borowicz, Paweł& Taube, A.& Rzodkiewicz, W.& Latek, Mariusz& Gierałtowska, S.. Raman Spectra of High-κ Dielectric Layers Investigated with Micro-Raman Spectroscopy Comparison with Silicon Dioxide. The Scientific World Journal. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1032657
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1032657
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر