![](/images/graphics-bg.png)
Memory and Electrical Properties of (100)-Oriented AlN Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering
المؤلفون المشاركون
Wu, Sean
Lee, Maw-Shung
Jhong, Shih-Bin
Chen, Kai-Huang
Liu, Kuan-Ting
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-09-11
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The (100)-oriented aluminum nitride (AlN) thin films were well deposited onto p-type Si substrate by radio frequency (RF) magnetron sputtering method.
The optimal deposition parameters were the RF power of 350 W, chamber pressure of 9 mTorr, and nitrogen concentration of 50%.
Regarding the physical properties, the microstructure of as-deposited (002)- and (100)-oriented AlN thin films were obtained and compared by XRD patterns and TEM images.
For electrical properties analysis, we found that the memory windows of (100)-oriented AlN thin films are better than those of (002)-oriented thin films.
Besides, the interface and interaction between the silicon and (100)-oriented AlN thin films was serious important problem.
Finally, the current transport models of the as-deposited and annealed (100)-oriented AlN thin films were also discussed.
From the results, we suggested and investigated that large memory window of the annealed (100)-oriented AlN thin films was induced by many dipoles and large electric field applied.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Lee, Maw-Shung& Wu, Sean& Jhong, Shih-Bin& Chen, Kai-Huang& Liu, Kuan-Ting. 2014. Memory and Electrical Properties of (100)-Oriented AlN Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041353
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Lee, Maw-Shung…[et al.]. Memory and Electrical Properties of (100)-Oriented AlN Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials No. 2014 (2014), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041353
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Lee, Maw-Shung& Wu, Sean& Jhong, Shih-Bin& Chen, Kai-Huang& Liu, Kuan-Ting. Memory and Electrical Properties of (100)-Oriented AlN Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041353
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1041353
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)