Simple, Fast, and Cost-Effective Fabrication of Wafer-Scale Nanohole Arrays on Silicon for Antireflection
المؤلفون المشاركون
Di, Di
Wu, Xuezhong
Dong, Peitao
Wang, Chaoguang
Chen, Jian
Wang, Haoxu
Wang, Junfeng
Li, Shengyi
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-06-15
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
A simple, fast, and cost-effective method was developed in this paper for the high-throughput fabrication of nanohole arrays on silicon (Si), which is utilized for antireflection.
Wafer-scale polystyrene (PS) monolayer colloidal crystal was developed as templates by spin-coating method.
Metallic shadow mask was prepared by lifting off the oxygen etched PS beads from the deposited chromium film.
Nanohole arrays were fabricated by Si dry etching.
A series of nanohole arrays were fabricated with the similar diameter but with different depth.
It is found that the maximum depth of the Si-hole was determined by the diameter of the Cr-mask.
The antireflection ability of these Si-hole arrays was investigated.
The results show that the reflection decreases with the depth of the Si-hole.
The deepest Si-hole arrays show the best antireflection ability (reflection < 9%) at long wavelengths (>600 nm), which was about 28 percent of the nonpatterned silicon wafer’s reflection.
The proposed method has the potential for high-throughput fabrication of patterned Si wafer, and the low reflectivity allows the application of these wafers in crystalline silicon solar cells.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Di, Di& Wu, Xuezhong& Dong, Peitao& Wang, Chaoguang& Chen, Jian& Wang, Haoxu…[et al.]. 2014. Simple, Fast, and Cost-Effective Fabrication of Wafer-Scale Nanohole Arrays on Silicon for Antireflection. Journal of Nanomaterials،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041541
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Di, Di…[et al.]. Simple, Fast, and Cost-Effective Fabrication of Wafer-Scale Nanohole Arrays on Silicon for Antireflection. Journal of Nanomaterials No. 2014 (2014), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041541
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Di, Di& Wu, Xuezhong& Dong, Peitao& Wang, Chaoguang& Chen, Jian& Wang, Haoxu…[et al.]. Simple, Fast, and Cost-Effective Fabrication of Wafer-Scale Nanohole Arrays on Silicon for Antireflection. Journal of Nanomaterials. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041541
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1041541
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر