Thermal Effect on the Structural, Electrical, and Optical Properties of In-Line Sputtered Aluminum Doped Zinc Oxide Films Explored with Thermal Desorption Spectroscopy
المؤلفون المشاركون
Chang, Shang-Chou
Li, To-Sing
Lin, Tien-Chai
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-05-29
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This work investigates the thermal effect on the structural, electrical, and optical properties of aluminum doped zinc oxide (AZO) films.
The AZO films deposited at different temperatures were measured using a thermal desorption system to obtain their corresponding thermal desorption spectroscopy (TDS).
In addition to obtaining information of thermal desorption, the measurement of TDS also has the effect of vacuum annealing on the AZO films.
The results of measuring TDS imply part of the doped aluminum atoms do not stay at substituted zinc sites in AZO films.
The (002) preferential direction of the AZO films in X-ray diffraction spectra shifts to a lower angle after measurement of TDS.
The grain size grows and surface becomes denser for all AZO films after measurement of TDS.
The carrier concentration, mobility, and average optical transmittance increase while the electrical resistivity decreases for AZO films after measurement of TDS.
These results indicate that the AZO films deposited at 200°C are appropriate selections if the AZO films are applied in device fabrication of heat-produced process.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Chang, Shang-Chou& Lin, Tien-Chai& Li, To-Sing. 2014. Thermal Effect on the Structural, Electrical, and Optical Properties of In-Line Sputtered Aluminum Doped Zinc Oxide Films Explored with Thermal Desorption Spectroscopy. Journal of Nanomaterials،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041806
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Chang, Shang-Chou…[et al.]. Thermal Effect on the Structural, Electrical, and Optical Properties of In-Line Sputtered Aluminum Doped Zinc Oxide Films Explored with Thermal Desorption Spectroscopy. Journal of Nanomaterials No. 2014 (2014), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041806
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Chang, Shang-Chou& Lin, Tien-Chai& Li, To-Sing. Thermal Effect on the Structural, Electrical, and Optical Properties of In-Line Sputtered Aluminum Doped Zinc Oxide Films Explored with Thermal Desorption Spectroscopy. Journal of Nanomaterials. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041806
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1041806
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر