![](/images/graphics-bg.png)
Effects of Hydrogen on the Optical and Electrical Characteristics of the Sputter-Deposited Al2O3-Doped ZnO Thin Films
المؤلفون المشاركون
Wang, Fang-Hsing
Liou, Jian-Chiun
Chen, In-Ching
Yang, Cheng-Fu
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-02-27
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
In this study, AZO thin films were deposited on glass by using a 98 mol% ZnO + 1 mol% Al2O3 (AZO, Zn : Al = 98 : 2) ceramic target and a r.f.
magnetron sputtering system.
At first, the effects of different H2 flow rates (H2/(H2 + Ar) = 0%~9.09%, abbreviated as H2-deposited AZO thin films, deposition temperature was 200°C) added during the deposition process on the physical and electrical properties of AZO thin films were investigated.
The optical transmittance at 400 nm~700 nm is more than 80% for all AZO thin films regardless of H2 flow rate and the transparency ratio decreased as the H2 flow rate increased.
The Burstein-Moss shift effect was used to prove that the defects of AZO thin films decreased with increasing H2 flow rate.
Also, the 2% H2-deposited AZO thin films were also treated by the H2 plasma at room temperature for 60 min (plasma-treated AZO thin films).
The value variations in the optical band gap ( E g ) values of the H2-deposited and plasma-treated AZO thin films were evaluated from the plots of α h ν 2 = c ( h ν − E g ) , and the E g values increased with increasing H2 flow rate.
The E g values also increased as the H2-plasma process was used to treat on the H2-deposited Al2O3-doped ZnO (AZO) thin films.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Wang, Fang-Hsing& Yang, Cheng-Fu& Liou, Jian-Chiun& Chen, In-Ching. 2014. Effects of Hydrogen on the Optical and Electrical Characteristics of the Sputter-Deposited Al2O3-Doped ZnO Thin Films. Journal of Nanomaterials،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041990
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Wang, Fang-Hsing…[et al.]. Effects of Hydrogen on the Optical and Electrical Characteristics of the Sputter-Deposited Al2O3-Doped ZnO Thin Films. Journal of Nanomaterials No. 2014 (2014), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041990
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Wang, Fang-Hsing& Yang, Cheng-Fu& Liou, Jian-Chiun& Chen, In-Ching. Effects of Hydrogen on the Optical and Electrical Characteristics of the Sputter-Deposited Al2O3-Doped ZnO Thin Films. Journal of Nanomaterials. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041990
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1041990
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)