Silicon Nanofabrication by Atomic Force Microscopy-Based Mechanical Processing
المؤلفون المشاركون
Miyake, Shojiro
Kim, Jongduk
Wang, Mei
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-19، 19ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-05-11
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
19
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper reviews silicon nanofabrication processes using atomic force microscopy (AFM).
In particular, it summarizes recent results obtained in our research group regarding AFM-based silicon nanofabrication through mechanochemical local oxidation by diamond tip sliding, as well as mechanical, electrical, and electromechanical processing using an electrically conductive diamond tip.
Microscopic three-dimensional manufacturing mainly relies on etching, deposition, and lithography.
Therefore, a special emphasis was placed on nanomechanical processes, mechanochemical reaction by potassium hydroxide solution etching, and mechanical and electrical approaches.
Several important surface characterization techniques consisting of scanning tunneling microscopy and related techniques, such as scanning probe microscopy and AFM, were also discussed.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Miyake, Shojiro& Wang, Mei& Kim, Jongduk. 2014. Silicon Nanofabrication by Atomic Force Microscopy-Based Mechanical Processing. Journal of Nanotechnology،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-19.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1042183
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Miyake, Shojiro…[et al.]. Silicon Nanofabrication by Atomic Force Microscopy-Based Mechanical Processing. Journal of Nanotechnology No. 2014 (2014), pp.1-19.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1042183
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Miyake, Shojiro& Wang, Mei& Kim, Jongduk. Silicon Nanofabrication by Atomic Force Microscopy-Based Mechanical Processing. Journal of Nanotechnology. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-19.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1042183
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1042183
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر