![](/images/graphics-bg.png)
Enhanced Temperature Control Method Using ANFIS with FPGA
المؤلفون المشاركون
Pan, Shing-Tai
Huang, Chiung-Wei
Zhou, Jun-Tin
Chang, Cheng-Yuan
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-03-04
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الطب البشري
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Temperature control in etching process is important for semiconductor manufacturing technology.
However, pressure variations in vacuum chamber results in a change in temperature, worsening the accuracy of the temperature of the wafer and the speed and quality of the etching process.
This work develops an adaptive network-based fuzzy inference system (ANFIS) using a field-programmable gate array (FPGA) to improve the effectiveness.
The proposed method adjusts every membership function to keep the temperature in the chamber stable.
The improvement of the proposed algorithm is confirmed using a medium vacuum (MV) inductively-coupled plasma- (ICP-) type etcher.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Huang, Chiung-Wei& Pan, Shing-Tai& Zhou, Jun-Tin& Chang, Cheng-Yuan. 2014. Enhanced Temperature Control Method Using ANFIS with FPGA. The Scientific World Journal،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1048842
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Huang, Chiung-Wei…[et al.]. Enhanced Temperature Control Method Using ANFIS with FPGA. The Scientific World Journal No. 2014 (2014), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1048842
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Huang, Chiung-Wei& Pan, Shing-Tai& Zhou, Jun-Tin& Chang, Cheng-Yuan. Enhanced Temperature Control Method Using ANFIS with FPGA. The Scientific World Journal. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1048842
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1048842
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)