Effect of Annealing on Microstructure and Mechanical Properties of Magnetron Sputtered Cu Thin Films
المؤلفون المشاركون
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2015، العدد 2015 (31 ديسمبر/كانون الأول 2015)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2015-03-09
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
الملخص EN
Cu thin films were deposited on Si substrates using direct current (DC) magnetron sputtering.
Microstructure evolution and mechanical properties of Cu thin films with different annealing temperatures were investigated by atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD), and nanoindentation.
The surface morphology, roughness, and grain size of the Cu films were characterized by AFM.
The minimization of energy including surface energy, interface energy, and strain energy (elastic strain energy and plastic strain energy) controlled the microstructural evolution.
A classical Hall-Petch relationship was exhibited between the yield stress and grain size.
The residual stress depended on crystal orientation.
The residual stress as-deposited was of tension and decreased with decreasing of (111) orientation.
The ratio of texture coefficient of (111)/(220) can be used as a merit for the state of residual stress.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Du, Shiwen& Li, Yongtang. 2015. Effect of Annealing on Microstructure and Mechanical Properties of Magnetron Sputtered Cu Thin Films. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2015, no. 2015, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1053771
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Du, Shiwen& Li, Yongtang. Effect of Annealing on Microstructure and Mechanical Properties of Magnetron Sputtered Cu Thin Films. Advances in Materials Science and Engineering No. 2015 (2015), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1053771
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Du, Shiwen& Li, Yongtang. Effect of Annealing on Microstructure and Mechanical Properties of Magnetron Sputtered Cu Thin Films. Advances in Materials Science and Engineering. 2015. Vol. 2015, no. 2015, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1053771
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1053771
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر