Substrate Temperature Effect on the Microstructure and Properties of (Si, Al)a-C:H Films Prepared through Magnetron Sputtering Deposition
المؤلفون المشاركون
Hao, Junying
Liu, Xiaoqiang
Yang, Hu
Lin, Xiuzhou
Zeng, Xianguang
المصدر
العدد
المجلد 2015، العدد 2015 (31 ديسمبر/كانون الأول 2015)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2015-10-04
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Hydrogenated amorphous carbon films codoped with Si and Al ((Si, Al)/a-C:H) were deposited through radio frequency (RF, 13.56 MHz) magnetron sputtering on Si (100) substrate at different temperatures.
The composition and structure of the films were investigated by means of X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), TEM, and Raman spectra, respectively.
The substrate temperature effect on microstructure and mechanical and tribological properties of the films was studied.
A structural transition of the films from nanoparticle containing to fullerene-like was observed.
Correspondingly, the mechanical properties of the films also had obvious transition.
The tribological results in ambient air showed that high substrate temperature (>573 K) was disadvantage of wear resistance of the films albeit in favor of formation of ordering carbon clusters.
Particularly, the film deposited at temperature of 423 K had an ultralow friction coefficient of about 0.01 and high wear resistance.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Liu, Xiaoqiang& Hao, Junying& Yang, Hu& Lin, Xiuzhou& Zeng, Xianguang. 2015. Substrate Temperature Effect on the Microstructure and Properties of (Si, Al)a-C:H Films Prepared through Magnetron Sputtering Deposition. Journal of Nanomaterials،Vol. 2015, no. 2015, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1068807
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Liu, Xiaoqiang…[et al.]. Substrate Temperature Effect on the Microstructure and Properties of (Si, Al)a-C:H Films Prepared through Magnetron Sputtering Deposition. Journal of Nanomaterials No. 2015 (2015), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1068807
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Liu, Xiaoqiang& Hao, Junying& Yang, Hu& Lin, Xiuzhou& Zeng, Xianguang. Substrate Temperature Effect on the Microstructure and Properties of (Si, Al)a-C:H Films Prepared through Magnetron Sputtering Deposition. Journal of Nanomaterials. 2015. Vol. 2015, no. 2015, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1068807
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1068807
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر