![](/images/graphics-bg.png)
A Slope-Adapted Sample-Tilting Method for Profile Measurement of Microstructures with Steep Surfaces
المؤلفون المشاركون
Fang, Hui
Xu, Bin
Chen, Wei
Tang, Hairong
Zhao, Shiping
المصدر
العدد
المجلد 2015، العدد 2015 (31 ديسمبر/كانون الأول 2015)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2015-08-13
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper presents a slope-adapted sample-tilting method for the profile measurement of microstructures with steep surfaces.
Distinct from the traditional scanning method that has the restriction of a maximum detectable angle, this method corrects the sample-stylus relative angle during the measurement of the steep surface to eliminate the profile deviation and the scanning blind region.
The performance of the proposed method was verified by simulations that measured the surface profiles of a trapezoidal microstructure and a spherical microstructure, finding maximum errors of 0.15 μm and 1.71 μm, respectively, compared to 3.63 μm and 7.85 μm using the traditional scanning method.
The proposed method enables accurate profile measurement and quality control of microstructures with steep surfaces.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Fang, Hui& Xu, Bin& Chen, Wei& Tang, Hairong& Zhao, Shiping. 2015. A Slope-Adapted Sample-Tilting Method for Profile Measurement of Microstructures with Steep Surfaces. Journal of Nanomaterials،Vol. 2015, no. 2015, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1068857
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Fang, Hui…[et al.]. A Slope-Adapted Sample-Tilting Method for Profile Measurement of Microstructures with Steep Surfaces. Journal of Nanomaterials No. 2015 (2015), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1068857
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Fang, Hui& Xu, Bin& Chen, Wei& Tang, Hairong& Zhao, Shiping. A Slope-Adapted Sample-Tilting Method for Profile Measurement of Microstructures with Steep Surfaces. Journal of Nanomaterials. 2015. Vol. 2015, no. 2015, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1068857
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1068857
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)