![](/images/graphics-bg.png)
Effect of Oxygen Flow Rate on the Optical, Electrical, and Mechanical Properties of DC Sputtering ITO Thin Films
المؤلفون المشاركون
Tien, C.-L.
Lin, Hong-Yi
Chang, Chih-Kai
Tang, Chien-Jen
المصدر
Advances in Condensed Matter Physics
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-02-07
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This study presents the effect of oxygen flow rate on the optical, electrical, and mechanical properties of indium tin oxide (ITO) thin films prepared by the DC magnetron sputtering technique.
The oxygen flow rate was varied from 10 to 50 sccm.
The ITO thin films deposition under different oxygen flow rates exhibits different properties.
We used an optical spectrometer to measure the optical transmittance and a four-point probe instrument to determine the resistivity.
A home-made Twyman-Green interferometer was used to evaluate residual stress and a microscopic interferometer was used to measure the surface roughness of ITO thin films.
The experimental results show that the average optical transmittance is larger than 85% in visible range; the electrical resistivity has a minimum 6.85×10-4 ohm-cm for the oxygen flow of 10 sccm.
The residual stress is varied from −0.15 GPa to −0.34 GPa in the range of 10–50 sccm.
The root-mean-square (rms) surface roughness is changed from 2.64 nm to 2.74 nm as the oxygen flow rate increases.
The results show that the oxygen flow rate has significant influence on the electrical resistivity, residual stress, and surface roughness of the ITO thin film.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Tien, C.-L.& Lin, Hong-Yi& Chang, Chih-Kai& Tang, Chien-Jen. 2018. Effect of Oxygen Flow Rate on the Optical, Electrical, and Mechanical Properties of DC Sputtering ITO Thin Films. Advances in Condensed Matter Physics،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1117169
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Tien, C.-L.…[et al.]. Effect of Oxygen Flow Rate on the Optical, Electrical, and Mechanical Properties of DC Sputtering ITO Thin Films. Advances in Condensed Matter Physics No. 2018 (2018), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1117169
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Tien, C.-L.& Lin, Hong-Yi& Chang, Chih-Kai& Tang, Chien-Jen. Effect of Oxygen Flow Rate on the Optical, Electrical, and Mechanical Properties of DC Sputtering ITO Thin Films. Advances in Condensed Matter Physics. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1117169
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1117169
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)