Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges
المؤلف
المصدر
IUG Journal of Natural Studies
العدد
المجلد 13، العدد 1 (31 يناير/كانون الثاني 2005)، ص ص. 1-18، 18ص.
الناشر
الجامعة الإسلامية-غزة عمادة شؤون البحث العلمي و الدراسات العليا
تاريخ النشر
2005-01-31
دولة النشر
فلسطين (قطاع غزة)
عدد الصفحات
18
التخصصات الرئيسية
الملخص AR
لقد تم تعريف جهد غلاف البلازما المتولدة بموجات الراديو بالفرق بين جهد البلازما و الجهد المتولد بتيار مستمر على غلاف البلازما، Vsheath= vp- vDC-bias لقد وجد أن جهد غلاف البلازما هي جهد ثابت.
أن البلازما المتولدة بموجات الراديو هي عند ترددات 13.56 مليون دورة بالقيمة العذرية.
أن طاقة هذه الموجات هي جذر القيمة المتوسطة المريعة مضروبة بشحنة الإلكترون.
أي أن طاقة الموجي هي eVms لقد وجد في المختبر أن طاقة الإلكترون الثانوي مساوية لطاقة موجة الراديو Es = eVms = Vsheath.
هذا قادنا لتأسيس مبدأ القطب الكهرب المحفز، و الذي ينص على أن الالكترونات المقذوفة في القطب الكهربائي المحفز في جهد أقل من جهد البلازما أثناء دورة الراديو للبلازما بينما الالكترونات المقذوفة في القطب الكهربائي المحفز بجهد أعلى من جهد البلازما أثناء دورة موجة الراديو تعود للقطب الكهربائي المحفز، إذن ما تم إهمال تأنف وجود شحنات الفضاء.
الملخص EN
In radio-frequency (RF) discharge the sheath potential is defined as the difference between the plasma potential and the direct-current (DC) bias voltage, Vsheath = Vp-Vdc-bias.
It is found that sheath potential is a constant potential.
In radio-frequency discharge the plasma was produced by a 13.56 Mhz radio-frequency wave.
The energy of this wave is the steady voltage known as root-mean-square voltage multiplied by the elementary charge e.
That is, the energy of the wave is given by eVrms.
It is found that the energy of the secondary electron is almost equal to the energy of radio-frequency wave, Es = eVsheath = eVrms.
This led to the establishment of the driven electrode basic principle, which states that : “In RF discharge, electrons emitted from the driven electrode biased below the plasma potential during the RF cycle are lost to the plasma while electrons emitted from the driven electrode biased above the plasma potential during the RF cycle are reflected back to the driven electrode, if space charge effects can be ignored”.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Farahat, Samir Ismail. 2005. Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges. IUG Journal of Natural Studies،Vol. 13, no. 1, pp.1-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-11470
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Farahat, Samir Ismail. Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges. IUG Journal of Natural Studies Vol. 13, no. 1 (Jan. 2005), pp.1-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-11470
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Farahat, Samir Ismail. Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges. IUG Journal of Natural Studies. 2005. Vol. 13, no. 1, pp.1-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-11470
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
includes bibliographical references : p. 17-18
رقم السجل
BIM-11470
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر