Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges

Author

Farahat, Samir Ismail

Source

IUG Journal of Natural Studies

Issue

Vol. 13, Issue 1 (31 Jan. 2005), pp.1-18, 18 p.

Publisher

The Islamic University-Gaza Deanship of Research and Graduate Affairs

Publication Date

2005-01-31

Country of Publication

Palestine (Gaza Strip)

No. of Pages

18

Main Subjects

Electronic engineering

Abstract AR

لقد تم تعريف جهد غلاف البلازما المتولدة بموجات الراديو بالفرق بين جهد البلازما و الجهد المتولد بتيار مستمر على غلاف البلازما، Vsheath= vp- vDC-bias لقد وجد أن جهد غلاف البلازما هي جهد ثابت.

أن البلازما المتولدة بموجات الراديو هي عند ترددات 13.56 مليون دورة بالقيمة العذرية.

أن طاقة هذه الموجات هي جذر القيمة المتوسطة المريعة مضروبة بشحنة الإلكترون.

أي أن طاقة الموجي هي eVms لقد وجد في المختبر أن طاقة الإلكترون الثانوي مساوية لطاقة موجة الراديو Es = eVms = Vsheath.

هذا قادنا لتأسيس مبدأ القطب الكهرب المحفز، و الذي ينص على أن الالكترونات المقذوفة في القطب الكهربائي المحفز في جهد أقل من جهد البلازما أثناء دورة الراديو للبلازما بينما الالكترونات المقذوفة في القطب الكهربائي المحفز بجهد أعلى من جهد البلازما أثناء دورة موجة الراديو تعود للقطب الكهربائي المحفز، إذن ما تم إهمال تأنف وجود شحنات الفضاء.

Abstract EN

In radio-frequency (RF) discharge the sheath potential is defined as the difference between the plasma potential and the direct-current (DC) bias voltage, Vsheath = Vp-Vdc-bias.

It is found that sheath potential is a constant potential.

In radio-frequency discharge the plasma was produced by a 13.56 Mhz radio-frequency wave.

The energy of this wave is the steady voltage known as root-mean-square voltage multiplied by the elementary charge e.

That is, the energy of the wave is given by eVrms.

It is found that the energy of the secondary electron is almost equal to the energy of radio-frequency wave, Es = eVsheath = eVrms.

This led to the establishment of the driven electrode basic principle, which states that : “In RF discharge, electrons emitted from the driven electrode biased below the plasma potential during the RF cycle are lost to the plasma while electrons emitted from the driven electrode biased above the plasma potential during the RF cycle are reflected back to the driven electrode, if space charge effects can be ignored”.

American Psychological Association (APA)

Farahat, Samir Ismail. 2005. Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges. IUG Journal of Natural Studies،Vol. 13, no. 1, pp.1-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-11470

Modern Language Association (MLA)

Farahat, Samir Ismail. Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges. IUG Journal of Natural Studies Vol. 13, no. 1 (Jan. 2005), pp.1-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-11470

American Medical Association (AMA)

Farahat, Samir Ismail. Measurement of pre-sheath potentials inradio-frequency discharges. IUG Journal of Natural Studies. 2005. Vol. 13, no. 1, pp.1-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-11470

Data Type

Journal Articles

Language

English

Notes

includes bibliographical references : p. 17-18

Record ID

BIM-11470