Ohmic Contact Mechanism for NiC-Faced 4H-n-SiC Substrate
المؤلفون المشاركون
Cuong, Tran V.
Kim, Seongjun
Kim, Hong-Ki
Lim, Minwho
Jeong, Seonghoon
Kang, Min-Jae
Kang, Min-Sik
Lee, Nam-Suk
Kim, Hyunsoo
Erlbacher, Tobias
Bauer, Anton
Shin, Hoon-Kyu
المصدر
العدد
المجلد 2019، العدد 2019 (31 ديسمبر/كانون الأول 2019)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2019-12-05
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
In this work, the ohmic contact mechanism of Ni electrodes on C-faced 4H-n-SiC was investigated by evaluating the electrical and microstructural properties in the contact interface as a function of annealing temperatures ranging from 950 to 1100°C.
We determined that Ni-silicide, especially the NiSi phase, plays a key role in the formation of ohmic contacts rather than an increase in carbon vacancies in the C-faced SiC substrate.
A vertically oriented NiSi phase was observed in the thermally annealed sample at the optimized temperature that behaves as a current path.
A further increase in annealing temperature leads to the degradation of ohmic behavior due to the formation of horizontal-type NiSi in the Ni-rich Ni-silicide/NiSi/SiC structure.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Kim, Seongjun& Kim, Hong-Ki& Lim, Minwho& Jeong, Seonghoon& Kang, Min-Jae& Kang, Min-Sik…[et al.]. 2019. Ohmic Contact Mechanism for NiC-Faced 4H-n-SiC Substrate. Journal of Nanomaterials،Vol. 2019, no. 2019, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1182451
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Kim, Seongjun…[et al.]. Ohmic Contact Mechanism for NiC-Faced 4H-n-SiC Substrate. Journal of Nanomaterials No. 2019 (2019), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1182451
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Kim, Seongjun& Kim, Hong-Ki& Lim, Minwho& Jeong, Seonghoon& Kang, Min-Jae& Kang, Min-Sik…[et al.]. Ohmic Contact Mechanism for NiC-Faced 4H-n-SiC Substrate. Journal of Nanomaterials. 2019. Vol. 2019, no. 2019, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1182451
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1182451
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر