![](/images/graphics-bg.png)
Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology
المؤلفون المشاركون
Huang, Q. A.
Su, Jiale
Zhang, Xinwei
Zhou, Guoping
Gu, Jianjian
Xia, Changfeng
Zhou, Zai-Fa
المصدر
العدد
المجلد 2019، العدد 2019 (31 ديسمبر/كانون الأول 2019)، ص ص. 1-10، 10ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2019-04-22
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
10
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper presents a piezoresistive barometric pressure sensor fabricated by using a Silicon-on-Nothing (SON) technology.
Array of silicon trenches were annealed in hydrogen environment to form continuing crystalline silicon membrane over a vacuum cavity.
Epitaxial growth on the silicon membrane is then completed for the desired thickness.
All processes are CMOS compatible and performed on the front side of the silicon wafer.
The piezoresistive barometric pressure sensor has been demonstrated with pressure hysteresis as low as 0.007%.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Su, Jiale& Zhang, Xinwei& Zhou, Guoping& Gu, Jianjian& Xia, Changfeng& Zhou, Zai-Fa…[et al.]. 2019. Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology. Journal of Sensors،Vol. 2019, no. 2019, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1191299
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Su, Jiale…[et al.]. Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology. Journal of Sensors No. 2019 (2019), pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1191299
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Su, Jiale& Zhang, Xinwei& Zhou, Guoping& Gu, Jianjian& Xia, Changfeng& Zhou, Zai-Fa…[et al.]. Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology. Journal of Sensors. 2019. Vol. 2019, no. 2019, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1191299
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1191299
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)