Design Approaches of MEMS Microphones for Enhanced Performance
المؤلفون المشاركون
Hur, Shin
Lee, Duck-Gyu
Shah, Muhammad Ali
Shah, Ibrar Ali
المصدر
العدد
المجلد 2019، العدد 2019 (31 ديسمبر/كانون الأول 2019)، ص ص. 1-26، 26ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2019-03-06
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
26
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper reports a review about microelectromechanical system (MEMS) microphones.
The focus of this review is to identify the issues in MEMS microphone designs and thoroughly discuss the state-of-the-art solutions that have been presented by the researchers to improve performance.
Considerable research work has been carried out in capacitive MEMS microphones, and this field has attracted the research community because these designs have high sensitivity, flat frequency response, and low noise level.
A detailed overview of the omnidirectional microphones used in the applications of an audio frequency range has been presented.
Since the microphone membrane is made of a thin film, it has residual stress that degrades the microphone performance.
An in-depth detailed review of research articles containing solutions to relieve these stresses has been presented.
The comparative analysis of fabrication processes of single- and dual-chip omnidirectional microphones, in which the membranes are made up of single-crystal silicon, polysilicon, and silicon nitride, has been done, and articles containing the improved performance in these two fabrication processes have been explained.
This review will serve as a starting guide for new researchers in the field of capacitive MEMS microphones.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shah, Muhammad Ali& Shah, Ibrar Ali& Lee, Duck-Gyu& Hur, Shin. 2019. Design Approaches of MEMS Microphones for Enhanced Performance. Journal of Sensors،Vol. 2019, no. 2019, pp.1-26.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1191826
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shah, Muhammad Ali…[et al.]. Design Approaches of MEMS Microphones for Enhanced Performance. Journal of Sensors No. 2019 (2019), pp.1-26.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1191826
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shah, Muhammad Ali& Shah, Ibrar Ali& Lee, Duck-Gyu& Hur, Shin. Design Approaches of MEMS Microphones for Enhanced Performance. Journal of Sensors. 2019. Vol. 2019, no. 2019, pp.1-26.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1191826
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1191826
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر