![](/images/graphics-bg.png)
Effect of Photoillumination on Gold-Nanoparticle-Assisted Chemical Etching of Silicon
المؤلفون المشاركون
Shiao, Ming-Hua
Lai, Chou-Pu
Liao, Bo-Huei
Lin, Yung-Sheng
المصدر
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-08-28
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Metal-assisted chemical etching (MacEtch) has attracted considerable attention for its ability to fabricate micro- and nanostructures with high aspect ratios and its applications in other microelectromechanical fields.
However, few studies have reported the effect of photoillumination on MacEtch.
In this study, gold nanoparticles (GNPs) were deposited on the surface of a Si wafer by using the fluoride-assisted galvanic replacement reaction, and then, the effect of photoillumination on the MacEtch of the Si wafer was investigated.
The etched depth increased linearly with etching time from 0–45 min and was considerably larger in the illuminated area than the nonilluminated area.
A lag time was observed for the MacEtch of the nonilluminated area.
However, no lag time was observed in the illuminated area.
The trapping of light by the GNPs on the Si substrate surface during the MacEtch process enhanced the etching efficiency due to localized surface plasmon resonance.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shiao, Ming-Hua& Lai, Chou-Pu& Liao, Bo-Huei& Lin, Yung-Sheng. 2018. Effect of Photoillumination on Gold-Nanoparticle-Assisted Chemical Etching of Silicon. Journal of Nanomaterials،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1194370
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shiao, Ming-Hua…[et al.]. Effect of Photoillumination on Gold-Nanoparticle-Assisted Chemical Etching of Silicon. Journal of Nanomaterials No. 2018 (2018), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1194370
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shiao, Ming-Hua& Lai, Chou-Pu& Liao, Bo-Huei& Lin, Yung-Sheng. Effect of Photoillumination on Gold-Nanoparticle-Assisted Chemical Etching of Silicon. Journal of Nanomaterials. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1194370
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1194370
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)